Apakah kegunaan kuarza dalam semikonduktor?

Dalam bidang pembuatan semikonduktor, langkah-langkah daripada pertumbuhan kristal silikon kepada penyebaran pengoksidaan, daripada etsa kepada pembersihan, komponen struktur kuarza terlibat dalam keseluruhan proses. Dengan perkembangan proses lanjutan, toleransi terhadap pencemaran oleh bendasing logam dan zarah menjadi semakin rendah pada setiap langkah.

Thesintesis kuarzamempunyai angka-angka seperti ketulenan tinggi, bukan gelembung, tiada zarah kemasukan, penghantaran UV yang tinggi, dan lain-lain. Ia menjadikannya secara beransur-ansur menggantikan bahan kuarza asli tradisional dalam proses pembuatan lanjutan, yang boleh meningkatkan hasil dan memanjangkan jangka hayat dengan ketara.

01 Cincin Goresan

Di bawah pengeboman plasma (mengandungi fluorin yang sangat reaktif dan gas berasaskan klorin), bahan memerlukan lengai kimia dan rintangan kakisan yang sangat tinggi. Pada masa yang sama, bahan kuarza perlu mempunyai ketulenan yang sangat tinggi untuk mengelakkan pencemaran zarah daripada goresan. Cincin etsa adalah komponen yang boleh digunakan; pada masa ini, kebanyakan peralatan menggunakan kuarza semula jadi. Walau bagaimanapun, beberapa proses lanjutan (2nm, 5nm, dan proses lain di bawah 28nm) telah menggantikannya dengan gelang goresan kuarza sintetik kerana kawalan ketat ke atas zarah dan ion logam.

02 Kubah Kuarza

Tingkap pemerhatian berbentuk kubah lutsinar yang dipasang di bahagian atas ruang tindak balas dalam peralatan etsa dan pemendapan filem nipis (seperti CVD). Ia bukan sahaja memerlukan ketulenan yang sangat tinggi untuk mengelakkan kekotoran daripada mencemari ruang proses tetapi juga memerlukan sifat optik tertentu untuk membolehkan isyarat cahaya daripada sistem pengesanan melalui untuk pemantauan masa nyata proses. Kuarza sintetik, dengan penghantaran yang sangat tinggi dan ketulenan yang tinggi, digunakan secara meluas dalam DOME (Diffusion Oxidation).

03 Tiub Relau

Dalam relau pengoksidaan/penyebaran suhu tinggi, ia berfungsi sebagai bekas tiub teras yang memegang wafer dan menjalankan tindak balas proses. Rintangan haba yang sangat tinggi diperlukan, membolehkan operasi jangka panjang pada suhu melebihi 1200°C tanpa melembutkan atau ubah bentuk. Kuarza semulajadi, kerana kandungan Al yang tinggi dan kandungan hidroksil yang rendah, mencapai rintangan haba yang tinggi dan digunakan secara meluas dalam tiub relau. Walau bagaimanapun, apabila proses lanjutan mengenakan kawalan yang semakin ketat pada ion kekotoran logam di dalam ruang, bahan kuarza sintetik tahan haba secara beransur-ansur menggantikan tiub relau kuarza asli.

04 Membersihkan Tangki

Digunakan untuk memegang penyelesaian pembersihan ketulenan tinggi, sangat menghakis (seperti SC1, SC2, asid hidrofluorik, asid sulfurik, dll.) untuk pembersihan basah wafer. Bahan kuarza mempunyai ketahanan yang sangat baik terhadap kakisan asid dan alkali: ia boleh menahan hakisan hampir semua asid kuat (kecuali asid hidrofluorik dan asid fosforik panas), memastikan tangki kekal tidak berkarat untuk kegunaan jangka panjang. Walau bagaimanapun, dengan penggunaan yang berpanjangan, ion logam dalam tangki kuarza dilepaskan secara beransur-ansur, dengan mudah menyebabkan pencemaran. Kuarza sintetik gred PPB berkesan mengurangkan pencemaran ion kekotoran logam, dan sifat bebas gelembung menjadikannya lebih sesuai untuk memproses permukaan licin, padat, mengurangkan lekatan bahan cemar.

05. Tingkap Pengawetan UV

Dipasang pada peralatan pengawetan UV, ia berfungsi sebagai tingkap untuk menghantar cahaya UV. Di antara semua bahan optik, kuarza sintetik mempunyai ketransmisian tertinggi dalam jalur ultraungu (DUV) kepada ultraungu (UV) (turun hingga 185nm). Kekuatan tinggi dan rintangan sinaran juga memastikan prestasinya tidak merosot atau hilang warna di bawah penyinaran UV yang berpanjangan.

06. Pembawa Pembungkusan Termaju

Dalam proses pembungkusan lanjutan (seperti Fan-Out, IC 2.5D/3D), wafer pembawa kuarza sintetik boleh digunakan sebagai plat pembawa untuk menyokong sementara, membetulkan, mengangkut dan memproses wafer ultra nipis atau membina semula wafer. Bahan kuarza sintetik boleh diproses untuk mencapai kerataan dan ketegaran yang sangat baik, memberikan sokongan padu untuk cip ultra-nipis dan memastikan ketepatan proses.

Semicorex membekalkan kualiti tinggikomponen kuarza tersuaiuntuk pemprosesan yang berbeza. Untuk penyelesaian tersuai atau maklumat teknikal tambahan, sila hubungi pasukan kejuruteraan kami.

Telefon: +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com