Tentang kita

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd ialah pembekal terkemuka produk salutan SiC pemendapan wap kimia (CVD) berkualiti tinggi terkemuka di China. Kami komited terhadap penyelidikan dan pembangunan bahan semikonduktor yang inovatif, terutamanya teknologi salutan SiC dan aplikasinya dalam industri semikonduktor. Kami menawarkan pelbagai jenis produk berkualiti tinggi sepertiSuseptor grafit bersalut SiC, bersalut silikon karbida, suseptor epitaksi UV dalam, Pemanas substrat CVD, Pembawa wafer SiC CVD, bot wafer, sertakomponen semikonduktordanproduk seramik silikon karbida.

Filem nipis SiC yang digunakan dalam epitaksi cip LED dan substrat kristal tunggal silikon mempunyai fasa padu dengan struktur kekisi kristal yang sama seperti berlian, dan ia adalah kedua selepas berlian dalam kekerasan. SiC ialah bahan semikonduktor celah jalur lebar yang diiktiraf secara meluas dengan potensi besar untuk digunakan dalam industri elektronik semikonduktor, dan mempunyai sifat fizikal dan kimia yang sangat baik, seperti kekonduksian terma yang tinggi, pekali pengembangan haba yang rendah, dan rintangan suhu dan rintangan kakisan yang tinggi.

Dalam pengeluaran peranti elektronik, wafer mesti melalui beberapa langkah, termasuk epitaksi silikon, di mana wafer dibawa pada suseptor grafit. Kualiti dan sifat suseptor memainkan peranan penting dalam kualiti lapisan epitaxial wafer. Pangkalan grafit ialah salah satu komponen teras peralatan MOCVD, dan ia adalah pembawa dan pemanas substrat. Parameter prestasinya yang stabil dari segi haba seperti keseragaman terma memainkan peranan yang menentukan dalam kualiti pertumbuhan bahan epitaxial, dan secara langsung menentukan Keseragaman dan ketulenan purata.

Di Semicorex, kami menggunakan CVD untuk mengeluarkan filem β-SiC padat pada grafit isostatik berkekuatan tinggi, yang mempunyai ketulenan yang lebih tinggi berbanding dengan bahan SiC tersinter. Produk kami seperti susceptor grafit bersalut SiC memberikan asas grafit dengan sifat istimewa, menjadikan permukaan asas grafit padat, licin dan tidak berliang, tahan haba unggul, keseragaman terma, tahan kakisan dan tahan pengoksidaan.

Teknologi salutan SiC telah mendapat penggunaan meluas terutamanya dalam pertumbuhan pembawa epitaxial LEDâ dan epitaksi kristal tunggal Si. Dengan pertumbuhan pesat industri semikonduktor, permintaan untuk teknologi dan produk salutan SiC telah meningkat dengan ketara. Produk salutan SiC kami mempunyai pelbagai aplikasi dalam aeroangkasa, industri fotovoltaik, tenaga nuklear, rel berkelajuan tinggi, automotif dan industri lain.

Aplikasi Produk

Epitaksi IC LED

Epitaksi silikon kristal tunggal

Pembawa wafer RTP/TRA

Etsa ICP/PSS

Goresan plasma

Epitaksi SiC

Epitaksi silikon monokristalin

Epitaksi GaN asas silikon

Epitaksi UV dalam

goresan semikonduktor

industri fotovoltaik

Sistem CVD Epitaxial SiC

Peralatan pertumbuhan filem epitaxial SiC

reaktor MOCVD

sistem MOCVD

peralatan CVD

sistem PECVD

sistem LPE

Sistem Aixtron

Sistem Nuflare

Sistem CVD TEL

Sistem Vecco

sistem TSI