Cincin fokus atau cincin tepi direka bentuk untuk meningkatkan keseragaman goresan di sekeliling tepi wafer atau perimeter.
Cincin fokus semicorex bersalut silikon karbida menggunakan pemendapan wap kimia (CVD) memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman haba untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia tahan lama, yang dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dalam proses goresan plasma atau kering. .
Cincin Fokus Semicorex SIC adalah komponen cincin karbida silikon yang tinggi yang direka untuk mengoptimumkan pengedaran plasma dan keseragaman proses wafer dalam pembuatan semikonduktor. Memilih Semicorex bermakna memastikan kualiti yang konsisten, kejuruteraan bahan canggih, dan prestasi yang boleh dipercayai yang dipercayai oleh fabs semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar Pertanyaan