Cincin fokus atau cincin tepi direka bentuk untuk meningkatkan keseragaman goresan di sekeliling tepi wafer atau perimeter.
Cincin fokus semicorex disalut silikon karbida menggunakan pemendapan wap kimia (CVD) memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman haba untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia tahan lama, yang dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dalam proses goresan plasma atau kering. .
Cincin fokus tahan lama semicorex untuk pemprosesan semikonduktor direka bentuk untuk menahan persekitaran melampau ruang goresan plasma yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Cincin fokus kami diperbuat daripada grafit ketulenan tinggi yang disalut dengan salutan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan haus. Salutan SiC mempunyai sifat rintangan kakisan dan haba yang tinggi, serta kekonduksian terma yang sangat baik. Kami menggunakan SiC dalam lapisan nipis pada grafit menggunakan proses pemendapan wap kimia (CVD) untuk meningkatkan hayat perkhidmatan cincin fokus kami.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin fokus pemprosesan Plasma Semicorex direka khas untuk memenuhi permintaan tinggi pemprosesan etch plasma dalam industri semikonduktor. Komponen Bersalut Silikon Karbida kami yang canggih dan ketulenan tinggi dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dan sesuai untuk digunakan dalam pelbagai aplikasi, termasuk lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Fokus SiC termaju semicorex, ketulenan tinggi dibina untuk menahan persekitaran yang melampau dalam ruang goresan plasma (atau goresan kering). Kami memberi tumpuan kepada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Produk kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan