China Seramik Pengilang, Pembekal, Kilang

Semicorex ialah rakan kongsi anda untuk menambah baik dalam pemprosesan semikonduktor. Salutan silikon karbida kami adalah padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan dalam keseluruhan kitaran pembuatan semikonduktor, termasuk pemprosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.

Komponen seramik SiC ketulenan tinggi adalah penting untuk proses dalam semikonduktor. Tawaran kami terdiri daripada bahagian boleh guna untuk peralatan pemprosesan wafer, seperti bot wafer Silicon Carbide, dayung julur, tiub, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.

Kelebihan untuk proses semikonduktor

Fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemprosesan pengendalian wafer seperti etsa atau implan ion mesti bertahan pada suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras. Semicorex membekalkan pembinaan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul dan rintangan kimia tahan lama, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten.

Penutup Bilik →
Penutup Kebuk yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemprosesan pengendalian wafer mesti tahan suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras.

Kayuh julur →
Cantilever Paddle ialah komponen penting yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam resapan atau relau LPCVD semasa proses seperti resapan dan RTP.

Tiub Proses →
Tiub Proses ialah komponen penting, direka khusus dalam pelbagai aplikasi pemprosesan semikonduktor seperti RTP, resapan.

Bot Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemprosesan semikonduktor, ia telah direka dengan teliti untuk memastikan wafer halus disimpan selamat semasa peringkat kritikal pengeluaran.

Gelang Masuk →
Cincin masuk gas bersalut SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan kompaun mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, yang mempunyai kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau.

Cincin Fokus →
Cincin fokus Semicorex membekalkan Silicon Carbide Coated adalah benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.

Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum seramik ultra-rata Semicorex adalah bersalut SiC ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pengendalian wafer.

Semicorex juga mempunyai produk seramik dalam Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Composite Ceramic, dll.