Penutup ruang digunakan untuk mencipta persekitaran yang bersih, lengai dan terlindung dalam ruang pemendapan, jadi ia terdedah kepada plasma dan suhu tinggi semasa proses pemendapan atau goresan. Penutup ruang semicorex ialah komponen seramik tahan lama yang disalut oleh silikon karbida menggunakan kaedah pemendapan wap kimia (CVD), bagus untuk menghadapi persekitaran yang mencabar ini.