Penutup ruang digunakan untuk mencipta persekitaran yang bersih, lengai dan terlindung dalam ruang pemendapan, jadi ia terdedah kepada plasma dan suhu tinggi semasa proses pemendapan atau goresan. Penutup ruang semicorex ialah komponen seramik tahan lama yang disalut oleh silikon karbida menggunakan kaedah pemendapan wap kimia (CVD), bagus untuk menghadapi persekitaran yang mencabar ini.
Semicorex SIC Lid adalah komponen karbida silikon kemelut tinggi yang direka bentuk untuk persekitaran pemprosesan semikonduktor yang melampau. Memilih Semicorex bermakna memastikan kualiti bahan yang tidak dapat ditandingi, kejuruteraan ketepatan, dan penyelesaian tersuai yang dipercayai oleh pengeluar semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar Pertanyaan