Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari.
Tantalum karbida (TaC) adalah sebatian yang terdiri daripada tantalum dan karbon. Ia mempunyai kekonduksian elektrik logam dan takat lebur yang sangat tinggi, menjadikannya bahan seramik refraktori yang terkenal dengan kekuatan, kekerasan dan rintangan haba dan hausnya. Takat lebur Tantalum Carbides memuncak pada kira-kira 3880°C bergantung kepada ketulenan dan mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara sebatian binari. Ini menjadikannya alternatif yang menarik apabila permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi keupayaan prestasi yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor kompaun seperti MOCVD dan LPE.
Data bahan Salutan TaC Semicorex
|
Projek |
Parameter |
|
Ketumpatan |
14.3 (gm/cm³) |
|
Emisiviti |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Kekerasan (HK) |
2000 |
|
Rintangan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Kestabilan Terma |
<2500 ℃ |
|
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai rujukan) |
|
Ketebalan Salutan |
≥20um nilai biasa (35um±10um) |
|
|
|
|
Di atas adalah nilai biasa |
|
Cincin Karbida Tantalum Berliang Semicorex ialah komponen refraktori berprestasi tinggi yang direka khusus untuk proses Pengangkutan Wap Fizikal (PVT) pertumbuhan kristal Silikon Karbida (SiC), menampilkan struktur tersinter monolitik yang menawarkan kestabilan terma yang luar biasa dan kebolehtelapan gas terkawal.*
Baca LagiHantar PertanyaanSuseptor wafer grafit bersalut Semicorex TaC ialah komponen canggih yang lazimnya digunakan untuk menyokong dan meletakkan wafer semikonduktor secara stabil semasa proses epitaxial semikonduktor termaju. Dengan memanfaatkan teknologi pengeluaran tercanggih dan pengalaman pembuatan matang, Semicorex komited untuk membekalkan susceptor wafer grafit bersalut TaC yang direka khas dengan kualiti terkemuka pasaran untuk pelanggan kami yang dihargai.
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptors Bersalut CVD TaC Semicorex ialah susceptor grafit berprestasi tinggi dengan salutan TaC padat, direka untuk memberikan keseragaman haba yang sangat baik dan rintangan kakisan untuk menuntut proses pertumbuhan epitaxial SiC. Semicorex menggabungkan teknologi salutan CVD termaju dengan kawalan kualiti yang ketat untuk menyediakan susceptor pencemaran rendah tahan lama yang dipercayai oleh pengeluar epi SiC global.*
Baca LagiHantar PertanyaanGelang panduan bersalut tantalum karbida semicorex ialah komponen gelang berprestasi tinggi yang digunakan dalam peralatan pertumbuhan kristal semikonduktor. Ia direka khusus untuk mencipta kecerunan suhu yang sesuai dan persekitaran aliran udara yang stabil semasa pertumbuhan kristal. Dengan memilih cincin panduan bersalut tantalum karbida Semicorex, anda akan mendapat manfaat daripada teknologi salutan yang tiada tandingan dan pengalaman pengeluaran yang sangat cekap dan stabil.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TaC Coated Graphite Crucible dibuat oleh grafit salutan Tantalum Carbide melalui kaedah CVD, yang merupakan bahan yang paling sesuai digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Semicorex ialah syarikat yang secara konsisten mengkhusus dalam salutan seramik CVD dan menawarkan penyelesaian bahan terbaik dalam industri semikonduktor.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TAC bersalut komponen dalam pertumbuhan epitaxial adalah bahagian machined berharga yang terletak di pengambilan udara dalam proses epitaxial dalam semikonduktor. Semicorex adalah syarikat terkemuka yang mengkhususkan diri dalam teknologi salutan CVD TAC di China, dan produk eksport di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar Pertanyaan