China Kayuh julur Pengilang, Pembekal, Kilang

Semasa pemprosesan, wafer semikonduktor mesti dipanaskan dalam relau khusus. Reaktor terdiri daripada tiub silinder yang memanjang, di mana wafer diletakkan pada bot wafer pada jarak yang telah ditetapkan, sama. Untuk bertahan dalam keadaan pemprosesan dalam ruang, dan untuk meminimumkan sisa kepada wafer daripada peralatan pemprosesan, bot wafer dan banyak lagi. peranti lain yang digunakan dalam pemprosesan wafer diperbuat daripada bahan seperti silikon karbida (SiC).

Bot, dimuatkan dengan kumpulan wafer untuk diproses, diletakkan di atas dayung julur panjang, yang mana ia boleh dimasukkan ke dalam dan ditarik balik dari relau dan reaktor tiub. Dayung termasuk bahagian pengangkut yang diratakan di mana satu atau lebih bot boleh diletakkan, dan pemegang panjang, diletakkan pada satu hujung bahagian pengangkut yang diratakan, yang mana dayung boleh dikendalikan.

Pendayung julur disyorkan untuk menggunakan karbida silikon terhablur semula dengan lapisan nipis CVD SiC, yang merupakan ketulenan tinggi dan pilihan terbaik untuk komponen dalam pemprosesan semikonduktor.

Semicorex boleh menyediakan perkhidmatan menyesuaikan mengikut lukisan dan persekitaran kerja.