Sic Seramik Paddle

Semicorex SIC Paddle Ceramic adalah bahagian lanjutan yang dibangunkan untuk aplikasi relau semikonduktor suhu tinggi seperti pengoksidaan dan penyebaran. Paddle bertindak sebagai sokongan cantilever untuk memegang dan menggerakkan wafer pada suhu tinggi. Dayung seramik Semicorex SIC memberikan komponen seramik berkekalan tinggi, kekuatan tinggi kepada proses suhu tinggi yang menuntut kebolehpercayaan, kestabilan, dan prestasi yang menuntut melalui proses pengeluaran.

Paddles dihasilkan dari kemarahan tinggikarbida silikon (sic), secara khusus dirumuskan untuk menahan persekitaran haba dan kimia yang sukar bagi proses pembuatan semikonduktor. Apabila wafer dirawat melalui pengoksidaan dan penyebaran, wafer terdedah kepada suhu yang lebih besar daripada 1000 darjah C, serta gas reaktif seperti oksigen, stim atau atmosfera dopan. Pada suhu ini, integriti struktur bergantung kepada kesucian bahan.

Satu lagi ciri penting SIC seramik paddles adalah prestasi hebat mereka pada suhu tinggi. Kerana titik lebur SIC sebanyak 2700+c, paddles mengekalkan kekuatan dan kestabilan mekanikal apabila terdedah kepada TEM yang tinggi

Peratur dari masa ke masa. Had harta terma melengkapkan dan memecahkan bahan semasa pemanasan berulang dan kitaran penyejukan sambil menyediakan hayat perkhidmatan yang panjang dalam persekitaran pengeluaran.

Pemprosesan semikonduktor menuntut persekitaran yang sangat bersih kerana walaupun jumlah kekotoran dapat memberi kesan kepada hasil dan tingkah laku peranti. Bahan SIC yang digunakan dalam paddles mempunyai salutan SIC yang disimpan secara kimia (CVD) yang menggalakkan kesucian bahan yang sangat tinggi sambil meminimumkan pencemaran logam. Paddle seramik SIC tetap bersih dan stabil untuk seluruh jangka hayat mereka. Sebagai cantilever menyokong, paddles perlu memberikan sokongan selamat untuk pembawa wafer atau bot semasa penyisipan dan penyingkiran dari relau. KeranaSicKekuatan dan ketegaran yang wujud, mereka mempunyai sifat beban yang baik dengan pesongan minimum, yang penting untuk pengendalian dan penjajaran wafer yang betul. Dalam pengoksidaan dan penyebaran relau, atmosfera yang menghakis boleh menyerang dan merendahkan bahan -bahan tradisional dari masa ke masa, tetapi SIC mempunyai keupayaan mengekalkan kestabilan kimianya, memperluaskan kehidupan yang boleh digunakan dayung. Ini mengakibatkan kos penyelenggaraan dan penggantian yang dikurangkan secara dramatik, kerana paddles tidak perlu diganti atau diperbaiki hampir sekerap.

Sebagai tambahan kepada prestasi, terdapat fleksibiliti dalam menyesuaikan paddles untuk peralatan dan proses tertentu. Dimensi, toleransi, dan kemasan permukaan boleh dibuat fleksibel untuk memastikan kesesuaian antara reka bentuk relau dan sistem pengendalian wafer yang lain. Keupayaan untuk mencapai tahap ketepatan dimensi yang tinggi dengan pemesinan ketepatan seramik juga akan membolehkan paddles dihasilkan untuk memenuhi geometri kompleks. Pelbagai ciri ini bertujuan untuk menyediakan operasi lancar dan integrasi mudah ke dalam barisan pengeluaran sedia ada.

Sic CeramicPaddles, dengan gabungan kesucian tinggi, kestabilan terma, kekuatan mekanikal, dan rintangan kimia, adalah bahan penting dalam proses pengoksidaan semikonduktor dan penyebaran. Dengan menyediakan platform yang stabil dan bersih untuk pemindahan wafer, mereka terus menyumbang kepada hasil yang lebih baik, konsistensi proses, dan kecekapan pembuatan keseluruhan.