Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai jenis bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
Fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300â) |
430 |
Saiz bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Epitaxial Single-crystal Si Plate merangkumi kemuncak kehalusan, ketahanan dan kebolehpercayaan untuk aplikasi yang berkaitan dengan epitaksi grafit dan manipulasi wafer. Ia dibezakan dengan keupayaan pengurusan ketumpatan, planariti dan termanya, meletakkannya sebagai pilihan optimum untuk keadaan operasi yang ketat. Komitmen Semicorex terhadap kualiti peneraju pasaran, bersekutu dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, mengukuhkan semangat kami untuk mewujudkan perkongsian dalam memenuhi keperluan pengangkutan wafer semikonduktor anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptor Silikon Epi Kristal Tunggal ialah komponen penting yang direka untuk proses epitaksi Si-GaN, yang boleh disesuaikan dengan spesifikasi dan keutamaan individu, menyediakan penyelesaian yang ditempah khas yang selaras dengan keperluan khusus. Sama ada ia melibatkan pengubahsuaian dalam dimensi atau pelarasan dalam ketebalan salutan, kami mempunyai keupayaan untuk mereka bentuk dan menyampaikan produk yang menampung parameter proses yang pelbagai, dengan itu mengoptimumkan prestasi untuk aplikasi yang disasarkan. Komitmen Semicorex terhadap kualiti peneraju pasaran, bersekutu dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, mengukuhkan semangat kami untuk mewujudkan perkongsian dalam memenuhi keperluan pengangkutan wafer semikonduktor anda.
Baca LagiHantar PertanyaanDicipta dengan ketepatan dan direka bentuk untuk kebolehpercayaan, SiC Epitaxy Susceptor menampilkan rintangan kakisan yang tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, rintangan kepada kejutan haba dan kestabilan kimia yang tinggi, membolehkan ia berfungsi dengan berkesan dalam suasana epitaxial.Oleh itu, SiC Epitaxy Susceptor dianggap sebagai teras dan komponen penting dalam peralatan MOCVD. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanPemegang Bot Semicorex Silicon Carbide ialah produk khusus yang dihasilkan daripada bahan SiC, direka dengan teliti untuk aplikasi dalam industri seperti fotovoltaik, elektronik dan semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Solar Graphite Boat, pemegang wafer kejuruteraan ketepatan yang direka untuk memenuhi permintaan yang tepat bagi pemprosesan semikonduktor suhu tinggi. Diperbuat daripada grafit gred premium, bot inovatif ini menawarkan kestabilan dan ketahanan haba yang tiada tandingan, memastikan prestasi optimum walaupun dalam persekitaran relau yang paling mencabar. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Support Crucible berdiri sebagai komponen penting dalam proses rumit pertumbuhan kristal silikon suria, berfungsi sebagai asas yang kukuh untuk transformasi bahan mentah kepada jongkong silikon berkualiti tinggi yang ditujukan untuk aplikasi fotovoltaik. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan