Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Dulang grafit bersalut Semicorex SIC adalah penyelesaian pembawa berprestasi tinggi yang direka khusus untuk pertumbuhan epitaxial Algan dalam industri LED UV. Pilih Semicorex untuk kesucian bahan terkemuka industri, kejuruteraan ketepatan, dan kebolehpercayaan yang tidak dapat ditandingi dalam menuntut persekitaran MOCVD.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemikorex Etching Wafer Carrier dengan salutan CVD SIC adalah penyelesaian yang maju dan berprestasi tinggi yang disesuaikan untuk menuntut aplikasi etsa semikonduktor. Kestabilan haba yang unggul, rintangan kimia, dan ketahanan mekanikal menjadikannya komponen penting dalam fabrikasi wafer moden, memastikan kecekapan, kebolehpercayaan, dan keberkesanan kos yang tinggi untuk pengeluar semikonduktor di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanPlat satelit Semicorex adalah komponen kritikal yang digunakan dalam reaktor epitaxy semikonduktor, yang direka khusus untuk peralatan Aixtron G5+. Semicorex menggabungkan kepakaran bahan canggih dengan teknologi salutan canggih untuk menyampaikan penyelesaian prestasi yang boleh dipercayai dan tinggi yang disesuaikan untuk menuntut aplikasi perindustrian.*
Baca LagiHantar PertanyaanSeceptor Planet Semicorex adalah komponen grafit kemuliaan tinggi dengan salutan SIC, yang direka untuk reaktor Aixtron G5+ untuk memastikan pengagihan haba seragam, rintangan kimia, dan pertumbuhan lapisan epitaxial yang tinggi.*
Baca LagiHantar PertanyaanBahagian Flat Salutan Semicorex SIC adalah komponen grafit bersalut SIC yang penting untuk pengaliran aliran udara seragam dalam proses epitaxy SIC. Semicorex menyampaikan penyelesaian yang bertaraf ketepatan dengan kualiti yang tidak dapat ditandingi, memastikan prestasi optimum untuk pembuatan semikonduktor.*
Baca LagiHantar PertanyaanKomponen Salutan SiC Semicorex ialah bahan penting yang direka bentuk untuk memenuhi keperluan menuntut proses epitaksi SiC, peringkat penting dalam pembuatan semikonduktor. Ia memainkan peranan penting dalam mengoptimumkan persekitaran pertumbuhan untuk kristal silikon karbida (SiC), menyumbang dengan ketara kepada kualiti dan prestasi produk akhir.*
Baca LagiHantar Pertanyaan