Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Modul epitaxial SIC dari Semicorex menggabungkan ketahanan, kesucian, dan kejuruteraan ketepatan, yang merupakan komponen kritikal dalam pertumbuhan epitaxial SIC. Pilih Semicorex untuk kualiti yang tidak dapat ditandingi dalam penyelesaian grafit bersalut dan prestasi jangka panjang dalam persekitaran yang menuntut.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Upper Half Moon adalah SIS-COUND SIC grafite sutceptor sic-scircular yang direka untuk digunakan dalam reaktor epitaxial. Pilih Semicorex untuk kesucian bahan terkemuka industri, pemesinan ketepatan, dan salutan SIC seragam yang memastikan prestasi tahan lama dan kualiti wafer yang unggul.*
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa wafer bersalut Semicorex SIC adalah pemecatan grafit kemelut tinggi yang disalut dengan CVD silikon karbida, yang direka untuk sokongan wafer yang optimum semasa proses semikonduktor suhu tinggi. Pilih Semicorex untuk kualiti salutan yang tidak dapat ditandingi, pembuatan ketepatan, dan kebolehpercayaan terbukti yang dipercayai oleh fabs semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanSikorex SIC Siced Wafer Susceptors adalah pembawa prestasi tinggi yang direka khusus untuk pemendapan filem ultrathin di bawah keadaan tanpa tekanan. Dengan Kejuruteraan Bahan Lanjutan, Kawalan Porositi Precision, dan Teknologi Salutan SIC yang teguh, Semicorex menyampaikan kebolehpercayaan dan penyesuaian yang terkemuka di industri untuk memenuhi keperluan pembuatan semikonduktor generasi akan datang.*
Baca LagiHantar PertanyaanCincin waferholder 8-inci Semicorex direka untuk memberikan penetapan wafer yang tepat dan prestasi luar biasa dalam persekitaran terma dan kimia yang agresif. Semicorex menyampaikan kejuruteraan khusus aplikasi, kawalan dimensi yang ketat, dan kualiti salutan SIC yang konsisten untuk memenuhi tuntutan yang ketat pemprosesan semikonduktor maju.*
Baca LagiHantar PertanyaanPlat salutan Semicorex RTP SIC adalah pembawa wafer berprestasi tinggi yang direka untuk digunakan dalam menuntut persekitaran pemprosesan terma yang cepat. Dipercayai oleh pengeluar semikonduktor terkemuka, Semicorex menyampaikan kestabilan terma, ketahanan, dan kawalan pencemaran yang disokong oleh piawaian kualiti yang ketat dan pembuatan ketepatan.*
Baca LagiHantar Pertanyaan