Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Semicorex LPE Halfmoon Reaction Chamber amat diperlukan untuk operasi SiC epitaxy yang cekap dan boleh dipercayai, memastikan penghasilan lapisan epitaxial berkualiti tinggi sambil mengurangkan kos penyelenggaraan dan meningkatkan kecekapan operasi. **
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Wafer Semicorex 6'' untuk Aixtron G5 menawarkan pelbagai kelebihan untuk digunakan dalam peralatan Aixtron G5, terutamanya dalam proses pembuatan semikonduktor suhu tinggi dan ketepatan tinggi.**
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Wafer Epitaxy Semicorex menyediakan penyelesaian yang sangat dipercayai untuk aplikasi Epitaxy. Bahan termaju dan teknologi salutan memastikan pembawa ini memberikan prestasi cemerlang, mengurangkan kos operasi dan masa henti akibat penyelenggaraan atau penggantian.**
Baca LagiHantar PertanyaanSusceptor wafer semicorex direka khas untuk proses epitaksi semikonduktor. Ia memainkan peranan penting dalam memastikan ketepatan dan kecekapan pengendalian wafer. Kami ialah perusahaan terkemuka dalam industri semikonduktor China, komited untuk menyediakan anda dengan produk dan perkhidmatan terbaik.*
Baca LagiHantar PertanyaanPemegang wafer semicorex iS komponen kritikal dalam pembuatan semikonduktor dan memainkan peranan penting dalam memastikan pengendalian wafer yang tepat dan cekap semasa proses epitaksi. Kami amat komited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi pada harga yang kompetitif dan berharap untuk memulakan perniagaan dengan anda.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex SiC Coating Ring ialah komponen kritikal dalam persekitaran yang menuntut proses epitaksi semikonduktor. Dengan komitmen teguh kami untuk menyediakan produk berkualiti tinggi pada harga yang kompetitif, kami bersedia untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.*
Baca LagiHantar Pertanyaan