Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Cakera Etsa ICP Semicorex SiC bukan sekadar komponen; ia merupakan pemboleh penting bagi pembuatan semikonduktor termaju kerana industri semikonduktor meneruskan usaha pengecilan dan prestasi tanpa henti, permintaan untuk bahan termaju seperti SiC hanya akan meningkat. Ia memastikan ketepatan, kebolehpercayaan dan prestasi yang diperlukan untuk memperkasakan dunia dipacu teknologi kami. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Cakera Etching SiC ICP berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanTerdapat ciri-ciri luas Cakera Epitaksi Bersalut Semicorex SiC yang menjadikannya komponen yang amat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor, di mana ketepatan, ketahanan dan keteguhan peralatan adalah yang terpenting untuk kejayaan peranti semikonduktor berteknologi tinggi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Cakera Epitaksi Bersalut SiC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex SiC Susceptor untuk ICP Etch dihasilkan dengan tumpuan untuk mengekalkan standard kualiti dan konsistensi yang tinggi. Proses pembuatan teguh yang digunakan untuk mencipta susceptor ini memastikan bahawa setiap kelompok memenuhi kriteria prestasi yang ketat, memberikan hasil yang boleh dipercayai dan konsisten dalam etsa semikonduktor. Selain itu, Semicorex dilengkapi untuk menawarkan jadual penghantaran yang cepat, yang penting untuk mengikuti permintaan pemulihan pesat industri semikonduktor, memastikan garis masa pengeluaran dipenuhi tanpa menjejaskan kualiti. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan prestasi tinggi SiC Susceptor untuk ICP Etch yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Sokongan Bersalut Semicorex SiC ialah komponen penting yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaxial semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Bersalut Semicorex SiC ialah komponen penting dalam proses pertumbuhan epitaxial semikonduktor, direka bentuk untuk memenuhi keperluan mendesak pembuatan semikonduktor moden. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanKebolehpercayaan dan prestasi cemerlang Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion berpunca daripada keupayaan mereka untuk menyampaikan secara konsisten dalam keadaan yang menuntut pengeluaran sel solar. Sifat bahan berkualiti tinggi SiC memastikan bot ini berfungsi secara optimum dalam pelbagai keadaan operasi, menyumbang kepada pengeluaran sel solar yang stabil dan cekap. Atribut prestasi mereka termasuk kekuatan mekanikal yang sangat baik, kestabilan terma, dan rintangan kepada tekanan alam sekitar, menjadikan SiC Boat for Solar Cell Diffusion sebagai alat yang sangat diperlukan dalam industri fotovoltaik.
Baca LagiHantar Pertanyaan