Cincin waferholder 8-inci

Cincin waferholder 8-inci Semicorex adalah perkakasan pemprosesan semikonduktor canggih yang bertujuan untuk menjamin dan menyokong wafer silikon dengan selamat melalui proses termal, etsa, dan pemendapan yang penting. Dibina dari grafit berkualiti tinggi dengan padatSalutan karbida silikon (sic)Untuk kekuatan tambahan, cincin pemegang wafer menghasilkan kestabilan terma unggul, rintangan kimia, dan kekuatan mekanikal, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis seperti CVD (pemendapan wap kimia), sistem pecvd, dan epitaxy.

Ciri -ciri utama:

Komposisi Bahan:

Bahan substrat adalahgrafit kemelut tinggi, yang dipilih untuk kekonduksian terma yang tinggi dan homogenitas struktur. Ketumpatan tinggi dan seragamSalutan Filem Silicon Carbide (SIC)digunakan pada permukaan, menunjukkan rintangan yang tinggi terhadap pengoksidaan dan serangan kimia walaupun pada suhu tinggi melebihi 1000 ° C. Campuran ini mengandungi jangka hayat jangka panjang dan risiko minimum pencemaran wafer.

Kedudukan wafer selamat

Direka terutamanya untuk memegang wafer 8-inci (200 mm), cincin waferholder memegang toleransi yang tepat dan geometri dalaman yang direka secara optimum untuk menggenggam wafer dengan selamat. Cincin itu tetap stabil dalam kedudukan semasa aliran berbasikal dan gas termal, meminimumkan pergerakan mikro yang boleh menyebabkan penciptaan zarah atau kerosakan wafer.

Keseragaman haba:

Kekonduksian terma yang wujud dari substrat grafit dan kestabilan salutan SIC memastikan pemindahan haba yang konsisten ke atas permukaan wafer. Ini menghasilkan hasil proses yang konsisten, mengurangkan tekanan haba, dan hasil peranti yang lebih baik.

Rintangan Kimia & Plasma:

Permukaan SIC melindungi teras grafit dari plasmas dan gas proses yang keras, yang menawarkan rintangan kepada kitaran proses berulang. Kekurangan kimia amat bermanfaat dalam persekitaran gas yang mengandungi halogen atau reaktif yang menghakis.

Penyesuaian tersedia:

Cincin waferholder 8-inci boleh direka khas untuk memenuhi keperluan peralatan atau proses tertentu, iaitu, variasi reka bentuk sokongan tepi, lokasi slot, dan konfigurasi pemasangan. Pereka kami bekerja dengan OEM dan Fabs untuk menyediakan prestasi tertinggi yang mungkin untuk setiap penggunaan.

Aplikasi:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Proses pertumbuhan epitaxial
• Relau penyebaran
• Penyepuh suhu tinggi
• Sistem pemprosesan terma semikonduktor lain

Setiap cincin waferholder 8 inci menjalani pemeriksaan yang ketat seperti pengesahan ketepatan dimensi, ujian lekatan salutan, dan kelayakan berbasikal termal. Teknologi pembuatan maju kami memastikan ketebalan salutan seragam dan kemasan permukaan terbaik untuk memenuhi permintaan tinggi industri semikonduktor.

Cincin waferholder 8-inci Semicorex (grafit bersalut SIC) adalah peralatan penting untuk pengeluaran semikonduktor generasi akan datang, menyediakan ketepatan mekanikal, ketahanan bahan, dan kestabilan kimia. Dari peningkatan peralatan proses ke pembinaan platform wafer generasi akan datang, produk ini menawarkan kebolehpercayaan dan prestasi yang diperlukan untuk membolehkan persekitaran pengeluaran yang menuntut hari ini.