Susceptor pancake, bentuk bulat pembawa wafer yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor.
Epitaksi ialah langkah penting dalam pemprosesan semikonduktor yang menumbuhkan lapisan epitaxial pada wafer semikonduktor, di mana wafer dibawa pada susceptor grafit. Kualiti suseptor grafit adalah kunci utama untuk kualiti wafer epi.
Suseptor grafit dengan salutan silikon karbida
Semicorex membekalkan susceptor dan komponen untuk semua reaktor epitaksi, termasuksuseptor tongdan suseptor pancake. Kami menggunakan grafit ketulenan tinggi dan salutan SiC CVD.