Chuck wafer semicorex yang diperbuat daripada salutan silikon karbida oleh MOCVD mempunyai rintangan penyejukan dan pemanasan pantas yang unggul, rintangan haus, ciri hayat perkhidmatan yang lebih lama. Ia adalah bahan yang hebat untuk memegang dan menyokong plat untuk wafer Si untuk pelbagai proses semasa pengeluaran cip dalam industri semikonduktor.
● Ketegaran
● Pengembangan haba yang rendah
● Berat rendah