Bot wafer ialah bekas khusus yang digunakan untuk memegang dan memanaskan wafer silikon karbida (SiC) semasa proses semikonduktor seperti pengendalian wafer.
Bot wafer semicorex diperbuat daripada seramik SiC, yang mempunyai sifat mekanikal, haba dan kimia yang sangat baik, seperti kekuatan tinggi, pengembangan haba yang rendah dan ketahanan terhadap persekitaran yang menghakis.