Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Semicorex Silicon Pedestal, komponen yang sering diabaikan namun sangat penting, memainkan peranan penting dalam mencapai keputusan yang tepat dan boleh berulang dalam proses resapan dan pengoksidaan semikonduktor. Platform khusus, di mana bot silikon diletakkan dalam relau suhu tinggi, menawarkan kelebihan unik yang secara langsung menyumbang kepada keseragaman suhu yang dipertingkatkan, kualiti wafer yang dipertingkatkan dan akhirnya, prestasi peranti semikonduktor yang unggul.**
Baca LagiHantar PertanyaanBot Penyepuh Silikon Semicorex, direka dengan teliti untuk mengendalikan dan memproses wafer silikon, memainkan peranan penting dalam mencapai peranti semikonduktor berprestasi tinggi. Ciri reka bentuk yang unik dan sifat bahan menjadikannya penting untuk langkah fabrikasi kritikal seperti resapan dan pengoksidaan, memastikan pemprosesan seragam, memaksimumkan hasil dan menyumbang kepada kualiti dan kebolehpercayaan keseluruhan peranti semikonduktor.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor telah muncul sebagai komponen kritikal dalam epitaksi Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), yang membolehkan fabrikasi peranti semikonduktor berprestasi tinggi dengan kecekapan dan ketepatan yang luar biasa. Gabungan unik sifat bahan menjadikannya sangat sesuai untuk persekitaran terma dan kimia yang menuntut yang dihadapi semasa pertumbuhan epitaxial semikonduktor kompaun.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Horizontal SiC Wafer Boat telah muncul sebagai alat yang sangat diperlukan dalam pengeluaran peranti semikonduktor dan fotovoltaik berprestasi tinggi. Pembawa khusus ini, direka bentuk dengan teliti daripada silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi, menawarkan sifat terma, kimia dan mekanikal yang luar biasa yang penting untuk proses menuntut yang terlibat dalam fabrikasi komponen elektronik termaju.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor mewakili teknologi pemboleh yang kritikal dalam pertumbuhan epitaxial wafer semikonduktor berkualiti tinggi. Dicipta melalui proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) yang canggih, susceptor ini menyediakan platform yang teguh dan berprestasi tinggi untuk mencapai keseragaman lapisan epitaxial yang luar biasa dan kecekapan proses.**
Baca LagiHantar PertanyaanBot Wafer Seramik Semicorex SiC telah muncul sebagai teknologi pemboleh yang kritikal, menyediakan platform yang tidak berbelah bagi untuk pemprosesan suhu tinggi sambil menjaga integriti wafer dan memastikan ketulenan yang diperlukan untuk peranti berprestasi tinggi. Ia disesuaikan dengan industri semikonduktor dan fotovoltaik yang dibina berdasarkan ketepatan. Setiap aspek pemprosesan wafer, daripada pemendapan kepada penyebaran, memerlukan kawalan yang teliti dan persekitaran yang murni. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Bot Wafer Seramik SiC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar Pertanyaan