Modul epitaxial sic

Modul epitaxial Semicorex SIC, yang dibuat dari gred premium, SIC Coated Graphite, adalah sebahagian daripada peralatan epitaxial yang dibangunkan untuk menahan unsur -unsur epitaxy silikon karbida (SIC) yang paling sukar. Modul ini, yang dimaksudkan untuk suhu tinggi dalam aplikasi pemendapan wap kimia (CVD), merupakan komponen penting dalam menunjukkan kestabilan dan sokongan untuk wafer semasa pertumbuhan epitaxial SIC berkualiti tinggi. Modul SIC Semicorex adalah bahan asas yang berkesan untuk pengeluaran bahan epitaxial yang boleh dipercayai dan berulang yang selaras dengan spesifikasi SIC yang berkualiti.

Modul SIC Semicorex adalah substrat grafit yang ditutup dengan lapisan padat dan seragam silikon karbida dan tahan terhadap pencemaran zarah dan kakisan walaupun dalam kimia proses yang paling teruk. Salutan SIC melarang pencemaran dan hakisan grafit yang mendasari dan memberikan sokongan mekanikal yang besar dan perlindungan sehingga 1600 ° C. Modul SIC menggabungkan kekuatan dan kebolehkesanan grafit dengan memakai keseluruhan, kakisan dan sifat tahan kimia silikon karbida, menjadikannya modul yang paling sesuai dari segi ketahanan dalam suasana epitaxial yang keras.

Modul ini direka untuk menyediakan profil haba seragam sambil meminimumkan perubahan dimensi sepanjang proses berbasikal haba. Keseragaman dan kestabilan terma ini penting untuk mengekalkan keseragaman wafer dan keseragaman epitaxy. Sekiranya wafer mengekalkan kedudukan yang stabil dengan kekonduksian terma yang tinggi, maka keadaan terma merentasi wafer semasa pemprosesan akan seragam, yang memberi kesan positif kepada hasil, kualiti kristal, dan downtime yang berkaitan dengan kegagalan bahagian atau pencemaran.

Modul epitaxial SIC serasi dengan beberapa reaktor epitaxial termasuk dinding panas dan dinding sejuk dan mempunyai pilihan untuk disesuaikan untuk membentuk dan dimensi untuk menampung susun atur reaktor dan keperluan pelanggan tertentu. Modul epitaxial SIC sangat sesuai untuk, tetapi tidak terhad kepada aplikasi epitaxy SIC 8 inci, 6 inci, dan muncul. Kerana kesucian yang tinggi dan geometri yang dioptimumkan dari modul epitaxial SIC, gangguan fizikal diminimumkan dalam kesannya terhadap dinamik aliran gas dan kecerunan terma yang menyokong pertumbuhan lebih banyak lapisan epitaxial.

Modul epitaxial SIC Semicorex mewakili sekeping terkawal berkualiti tinggi dalam perhimpunan eksentrik. Sebagai tambahan kepada protokol kawalan kualiti yang tinggi, Semicorex menggunakan kaedah salutan terkini untuk memohon filem SIC seragam, padat, dan rendah. Semicorex mempunyai sejarah panjang salutan seramik prestasi tinggi dan pemesinan grafit mengenal pasti manfaat proses yang memberikan kehidupan produk yang terbaik, konsistensi, dan kestabilan proses dari batch ke batch.

Dalam bidang peranti kuasa SIC yang berkembang pesat, di mana kualiti bahan secara langsung mempengaruhi prestasi peranti, modul epitaxial bukan sekadar habis-habis-ia adalah pemboleh kritikal. Modul epitaxial grafit bersalut SIC dari Semicorex menawarkan penyelesaian yang mantap dan boleh dipercayai untuk pelanggan yang ingin menolak had kecekapan, hasil, dan keberkesanan kos dalam epitaxy SIC.