Bulan separuh atas

Semicorex Upper Half Moon adalah pembawa wafer separuh bulat dengan teliti direkayasa untuk peralatan pemprosesan epitaxial. Sebagai komponen pemotong kritikal dalam proses pertumbuhan epitaxial, bahagian ini direka untuk menyokong dan menstabilkan wafer silikon semasa pemendapan wap kimia suhu tinggi (CVD). Dikeluarkan dari grafit kemuliaan tinggi dan dilindungi dengan salutan silikon karbida (sic) seragam, separuh bulan atas menggabungkan keteguhan mekanikal, kekonduksian terma yang sangat baik, dan ketahanan kakisan yang luar biasa untuk memenuhi tuntutan epitaxy ketepatan tinggi.

Produk ini menghasilkan namanya dari geometri setengah bulan yang berbeza, yang dibina untuk platform putaran tertentu dalam reaktor epitaxial tunggal atau berbilang gudang. Bentuknya yang unik bukan sahaja memudahkan aliran gas seragam dan pengedaran terma tetapi juga membolehkan integrasi mudah ke dalam perhimpunan pemanasan dan putaran sedia ada. Reka bentuk separuh bulat memastikan kedudukan wafer yang optimum, meminimumkan tekanan terma, dan memainkan peranan penting dalam mencapai ketebalan filem epitaxial seragam di seluruh permukaan wafer.

Produk separuh bulan atas termasuk substrat grafit ultra-halus kerana manfaat prestasi gabungan struktur ultra-halus yang stabil pada suhu yang sangat tinggi ditambah dengan ketahanan terhadap kegagalan terhadap larian berulang. Untuk melanjutkan penggunaan, salutan SIC padat yang tinggi telah digunakan oleh teknologi pemendapan wap kimia, mengasingkan substrat grafit dari HCL, CL₂, silane, dan lain -lain proses proses menghakis. Walau apa pun, salutan SIC menggalakkan kehidupan yang lebih tahan lama dan lebih panjang untuk kedua -dua produk separuh bulan atas dan bahagian -bahagiannya dalam keseluruhannya sementara mengurangkan pencemaran persekitaran wafer, akhirnya memberi manfaat kepada hasil proses dan kualiti filem.

Kemasan permukaan lapisan SIC telah ditentukan dan rata atau licin untuk menggalakkan pemindahan haba yang berterusan ke substrat dan pembentukan filem yang berterusan. Selain itu, salutan SIC meningkatkan rintangan komponen kepada penjanaan partikel yang merupakan faktor utama aplikasi semikonduktor sensitif. Parameter prestasi termasuk pengurangan yang sangat rendah dan ubah bentuk yang sangat rendah melebihi 1200 ° C menyediakan komponen yang berkesan untuk kitaran operasi yang sangat panjang, mengurangkan sistem downtime dan penyelenggaraan sistem.

Semicorex Bulan Separuh Bulan tidak sama dengan toleransi, keseragaman salutan, dan pemilihan bahan. Kami mengekalkan kawalan kualiti yang ketat pada setiap langkah, dari pemesinan grafit, ke pemendapan salutan SIC, dan pemeriksaan akhir, memastikan setiap unit memenuhi piawaian yang ketat yang diperlukan dari peralatan gred semikonduktor. Tambahan pula, pengalaman kami dalam menyesuaikan geometri, ketebalan, dan rawatan permukaan diiktiraf untuk digunakan untuk hampir semua bentuk platform epitaxy.

Bulan separuh bahagian atas sangat penting untuk kestabilan wafer, keseragaman haba, dan kawalan pencemaran untuk epitaxy semikonduktor silikon atau kompaun. Sehubungan itu, Semicorex memanfaatkan kepakaran, teknologi material, dan konsistensi pembuatan yang tidak dapat ditandingi untuk mencapai jangkaan pelanggan untuk komponen penumpang yang boleh dipercayai dan berprestasi tinggi.