Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Susceptors MOCVD Semicorex melambangkan kemuncak ketukangan, ketahanan dan kebolehpercayaan untuk epitaksi grafit yang rumit dan tugas pengendalian wafer yang tepat. Suseptor ini terkenal dengan ketumpatan tinggi, kerataan yang luar biasa, dan kawalan haba yang unggul, menjadikannya pilihan utama untuk persekitaran pembuatan yang menuntut. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Susceptor MOCVD berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.
Baca LagiHantar PertanyaanPlat Semicorex untuk Pertumbuhan Epitaxial berdiri sebagai elemen kritikal yang direka khusus untuk memenuhi selok-belok proses epitaxial. Boleh disesuaikan untuk memenuhi spesifikasi dan pilihan yang berbeza, tawaran kami memberikan penyelesaian yang disesuaikan secara individu yang sesuai dengan keperluan operasi unik anda dengan lancar. Kami menawarkan pelbagai pilihan penyesuaian, daripada perubahan saiz kepada variasi dalam aplikasi salutan, melengkapkan kami untuk membuat kejuruteraan dan membekalkan produk yang mampu meningkatkan prestasi merentas pelbagai senario aplikasi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Plat berprestasi tinggi untuk Pertumbuhan Epitaxial yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.
Baca LagiHantar PertanyaanPembawa Wafer Semicorex untuk MOCVD, Dicipta untuk keperluan tepat Pemendapan Wap Kimia Organik Logam (MOCVD), muncul sebagai alat yang sangat diperlukan dalam pemprosesan Si atau SiC kristal tunggal untuk litar bersepadu berskala tinggi. Pembawa Wafer untuk komposisi MOCVD menawarkan ketulenan yang tiada tandingan, ketahanan terhadap suhu tinggi dan persekitaran yang menghakis, dan sifat pengedap yang unggul untuk mengekalkan suasana yang murni. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Pembawa Wafer berprestasi tinggi untuk MOCVD yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.
Baca LagiHantar PertanyaanPemegang Bot SiC oleh Semicorex dipalsukan secara inovatif daripada SiC, disesuaikan secara eksplisit untuk peranan penting dalam sektor fotovoltaik, elektronik dan semikonduktor. Dicipta dengan ketepatan, Pemegang Bot SiC Semicorex menawarkan persekitaran yang melindungi dan stabil untuk wafer melalui setiap peringkat—sama ada pemprosesan, transit atau penyimpanan. Reka bentuknya yang teliti memastikan ketepatan dalam dimensi dan kesamarataan, penting untuk meminimumkan ubah bentuk wafer dan memaksimumkan hasil operasi.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Panduan SiC Semicorex direka bentuk untuk mengoptimumkan proses pertumbuhan kristal tunggal. Kekonduksian terma yang luar biasa memastikan pengagihan haba yang seragam, menyumbang kepada pembentukan kristal berkualiti tinggi dengan ketulenan yang dipertingkatkan dan integriti struktur. Komitmen Semicorex terhadap kualiti peneraju pasaran, bersekutu dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, mengukuhkan semangat kami untuk mewujudkan perkongsian dalam memenuhi keperluan pengangkutan wafer semikonduktor anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Epi-SiC Susceptor, komponen yang direka bentuk dengan perhatian yang teliti terhadap perincian, amat diperlukan untuk fabrikasi semikonduktor termaju, terutamanya dalam aplikasi epitaxial. Reka bentuk Epi-SiC Susceptor, yang merangkumi ketepatan dan inovasi, menyokong pemendapan epitaxial bahan semikonduktor pada wafer, memastikan kecekapan dan kebolehpercayaan yang luar biasa dalam prestasi. Komitmen Semicorex terhadap kualiti peneraju pasaran, bersekutu dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, mengukuhkan semangat kami untuk mewujudkan perkongsian dalam memenuhi keperluan pengangkutan wafer semikonduktor anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan