Dulang grafit bersalut sic

SiC Coated Graphite Dulang adalah bahagian semikonduktor canggih yang memberikan substrat SI yang tepat kawalan suhu dan sokongan yang stabil semasa proses pertumbuhan epitaxial silikon. Semicorex sentiasa memberi keutamaan kepada permintaan pelanggan, menyediakan pelanggan dengan penyelesaian komponen teras yang diperlukan untuk pengeluaran semikonduktor berkualiti tinggi.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Sebagai komponen utama peralatan epitaxial,Dulang grafit bersalut sic, secara langsung mempengaruhi kecekapan pengeluaran, keseragaman, dan kadar kecacatan pertumbuhan lapisan epitaxial.

Melalui pembersihan grafit, pemprosesan ketepatan dan rawatan pembersihan, permukaan substrat grafit dapat mencapai kebosanan dan kelancaran yang sangat baik, berjaya mengelakkan risiko pencemaran zarah. Melalui pemendapan wap kimia, permukaan substrat grafit menjalani tindak balas kimia dengan gas reaktif, menghasilkan salutan karbida (sic) yang padat, bebas seragam dan seragam. Dari penyediaan substrat ke rawatan salutan, keseluruhan proses pengeluaran dijalankan dalam bilik bersih Kelas 100, yang memenuhi piawaian kebersihan yang sesuai untuk semikonduktor.

SiC Coated Graphite dulang yang diperbuat daripada grafit impur rendah dan bahan-bahan SIC yang tinggi, mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik dan pekali pengembangan terma yang rendah. Ia bukan sahaja membolehkan dulang grafit bersalut SIC untuk memindahkan haba dengan cepat dan seragam untuk meningkatkan kualiti pertumbuhan lapisan epitaxial, tetapi juga berkesan mengurangkan risiko penumpahan salutan atau retak akibat tekanan terma. Di samping itu, salutan SIC seragam dan padat tahan terhadap suhu tinggi, pengoksidaan dan kakisan, memastikan operasi yang stabil untuk masa yang lama di bawah keadaan gas suhu tinggi dan menghakis.

Dulang grafit bersalut SIC mempunyai keserasian yang lebih tinggi dengan peralatan pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD). Ia telah bersaiz dengan teliti dan direka untuk menyesuaikan diri dengan parameter proses dan keperluan peralatan yang berbeza. Semicorex sentiasa menegaskan untuk menawarkan perkhidmatan yang disesuaikan dengan profesional kepada pelanggan kami yang bernilai untuk memenuhi keperluan mereka untuk saiz yang berbeza, ketebalan salutan dan kekasaran permukaan dulang grafit bersalut SIC.