Susceptor Grafit dengan Salutan SiC

Susceptor Grafit Semicorex dengan Salutan SiC ialah komponen penting yang direka untuk proses epitaksi silikon dalam unit Bahan Gunaan dan LPE (Epitaksi Fasa Cecair). Dihasilkan daripada bahan grafit berkualiti tinggi yang disalut dengan Silicon Carbide (SiC), susceptor ini memastikan prestasi unggul dan jangka hayat dalam persekitaran pembuatan semikonduktor. Semicorex komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Salutan SiC pada Susceptor Grafit dengan Salutan SiC mempunyai pelbagai tujuan. Pertama, ia menyediakan kestabilan terma yang dipertingkatkan, membolehkan kawalan tepat ke atas kecerunan suhu semasa proses pertumbuhan epitaxial. Kestabilan ini adalah penting untuk mencapai lapisan silikon seragam dan berkualiti tinggi dalam wafer semikonduktor. Salutan SiC pada Susceptor Grafit dengan Salutan SiC menawarkan rintangan yang sangat baik terhadap kakisan kimia dan kejutan haba, melindungi integriti susceptor walaupun dalam keadaan proses yang mencabar. Ketahanan ini diterjemahkan kepada jangka hayat operasi yang dilanjutkan dan masa henti yang dikurangkan, akhirnya menyumbang kepada produktiviti yang lebih tinggi dan keberkesanan kos untuk kemudahan fabrikasi semikonduktor.

Reka bentuk tong Susceptor Grafit dengan Salutan SiC memudahkan pemuatan dan pemunggahan wafer yang cekap, mengoptimumkan daya pemprosesan dalam proses epitaksi. Selain itu, Susceptor Grafit dengan Salutan SiC ialah produk tersuai, dan ia boleh disesuaikan untuk memenuhi keperluan dan keutamaan khusus pengeluar semikonduktor, memastikan keserasian dengan konfigurasi peralatan dan parameter proses yang berbeza.