Suseptor Wafer Grafit 1x2".

Dalam fabrikasi wafer semikonduktor, lapisan epitaxial diperlukan untuk ditanam pada substrat wafer untuk fabrikasi peranti semikonduktor seterusnya. Oleh kerana proses pertumbuhan epitaxial sangat sensitif terhadap turun naik suhu dan pencemaran, pemilihansuseptor waferadalah sangat penting. Sebagai bahagian sokongan yang amat diperlukan dalam proses epitaxial wafer, ketepatan pemesinan, keupayaan pengurusan haba, dan prestasi rintangan pencemaran adalah faktor penting dalam mencapai pertumbuhan epitaxial wafer berkualiti tinggi.

Fungsi suseptor wafer grafit Semicorex 1x2".

Diperbuat daripada bijirin ultra halus, grafit ketulenan tinggi sebagai matriksnya dengan salutan silikon karbida padat melalui proses khas, susceptors wafer grafit Semicorex 1x2" menyampaikan fungsi berikut:

1.Pegangan selamat dan basi

Semicorex 1x2"grafitsusceptor wafer menampilkan pemesinan dan rawatan ketepatan, memberikan kerataan permukaan yang luar biasa dan ketepatan dimensi. Ini memastikan ia diikat dengan kukuh dalam kedudukan yang sesuai dan menyediakan platform sokongan rata yang stabil untuk pertumbuhan epitaxial wafer.

2. Ketepatan Taburan Haba Seragam

Dengan kekonduksian haba yang sangat baik bagi bahan grafit dan SiC, suseptor wafer grafit Semicorex 1x2" memberikan pengagihan haba yang pantas dan seragam merentas bahan semikonduktor. Dengan meminimumkan kecerunan suhu, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" boleh mengelakkan isu seperti kualiti epitaxial yang tidak sekata dan kepekatan tekanan.

Kelebihan salutan silikon karbida Semicorex

1. rintangan kakisan yang unggul

Dilindungi dengan salutan silikon karbida yang padat, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" berkesan tahan terhadap kebanyakan bahan kimia, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam keadaan operasi yang sangat menghakis di mana bahan tersebut kerap terdedah kepada gas menghakis dan wap kimia.

2. penumpahan zarah rendah

Semicorexsalutan silikon karbidamempunyai kekuatan ikatan yang tinggi dengan matriks grafit, yang boleh mengelakkan risiko pencemaran substrat dengan ketara akibat detasmen salutan akibat kakisan dan kejatuhan zarah yang disebabkan oleh persekitaran kakisan tinggi.

3. hayat perkhidmatan yang boleh dipercayai

Walaupun matriks grafit mempamerkan kestabilan haba dan kekuatan mekanikal yang sangat baik, ia terdedah kepada kakisan dan penumbuk di bawah keadaan operasi proses epitaxial, sangat memendekkan jangka hayat matriks grafit tidak bersalut. Dengan merangkum sepenuhnya matriks grafit dengan salutan SiC yang padat, suseptor wafer grafit 1×2" kami mencapai ketahanan yang unggul dan boleh dipercayai.

Data bahan Salutan Semicorex SiC