Sic paddles

Direka untuk menjadi kukuh dan boleh dipercayai, paddles sic adalah lengan jenis cantilever yang memegang bot wafer atau susunan wafer. Paddle menyokong wafer semasa mereka dimasukkan atau dikeluarkan dari ruang proses. Bahan konvensional gagal pada suhu tinggi ini melalui ubah bentuk, melengkung, atau kemerosotan kimia. Kestabilan mekanikal dan integriti struktur karbida silikon membolehkan dayung untuk bertahan dengan pelbagai kitaran haba tanpa kehilangan bentuk atau fungsi. Keupayaan ini penting untuk mengekalkan penjajaran relau, memastikan wafer tidak rosak semasa proses, dan meminimumkan downtime mahal.Silicon Carbide, kerana ia akan mengekalkan kestabilan kimia pada suhu pemprosesan yang menghalang kelebihan kekotoran logam atau partikel daripada mencemarkan wafer, memastikan hasil wafer yang stabil. Terakhir,cantilever paddlesjuga serasi dengan sistem pemindahan wafer bersepadu, semakin berkurangan ketergantungan pada manusia dan meningkatkan throughput.

Paddles SIC adalah komponen unik pembawa, khususnya untuk pengangkutan dan integrasi wafer semikonduktor ke dalam beban kerja batch dalam proses seperti pengoksidaan suhu tinggi dan penyebaran, antara lain. Dibuat dengan kesucian yang tinggijuga serasi dengan sistem pemindahan wafer bersepadu, semakin berkurangan ketergantungan pada manusia dan meningkatkan throughput., paddles SIC menyediakan kestabilan terma, kekuatan mekanikal dan ketahanan kimia untuk memastikan pengangkutan yang stabil di atas suhu 1000 ° C. Paddles SIC diperlukan untuk pemprosesan wafer: ia akan memastikan bahawa substrat rapuh dapat dikendalikan dengan sewajarnya sambil mengekalkan integriti dan konsistensi sepanjang proses pengoksidaan, penyebaran, dan penyepuhlindapan.

Direka untuk menjadi kukuh dan boleh dipercayai, paddles sic adalah lengan jenis cantilever yang memegang bot wafer atau susunan wafer. Paddle menyokong wafer semasa mereka dimasukkan atau dikeluarkan dari ruang proses. Bahan konvensional gagal pada suhu tinggi ini melalui ubah bentuk, melengkung, atau kemerosotan kimia. Kestabilan mekanikal dan integriti struktur karbida silikon membolehkan dayung untuk bertahan dengan pelbagai kitaran haba tanpa kehilangan bentuk atau fungsi. Keupayaan ini penting untuk mengekalkan penjajaran relau, memastikan wafer tidak rosak semasa proses, dan meminimumkan downtime mahal.

Kestabilan haba SIC paddles dilengkapi dengan rintangan kimia yang sangat baik terhadap gas reaktif yang biasanya muncul dalam proses pengoksidaan dan penyebaran (mis., Oksigen, klorin, dan lain -lain spesies agresif pada suhu tinggi). Banyak bahan akan dimusnahkan atau tercemar apabila terdedah kepada suhu tinggi dan oksigen. Karbida silikon secara kimia tidak aktif dan mikrostrukturnya yang padat memastikan bahawa tindak balas kimia tidak akan berlaku, menyediakan kedua -dua integriti struktur dayung dan persekitaran yang bersih untuk wafer. Risiko yang dihasilkan untuk pencemaran disimpan minimum untuk pengeluar semikonduktor yang beroperasi di beberapa nod proses yang paling maju yang bahkan mengesan unsur -unsur bahan cemar dapat mendorong perubahan ketara dalam prestasi peranti.

Integriti mekanikal yang berkaitan dengan paddles SIC juga memberikan nilai dalam proses pengendalian. Bentuk struktur cantilever memerlukan bahan yang boleh memegang berat susunan lapisan dan tidak flex atau sag. Modulus Silicon Carbide yang sangat tinggi dan kekerasan yang sangat tinggi menjadikannya pertimbangan yang baik untuk fungsi struktur mekanikal yang diperlukan. Paddle SIC mengekalkan kedua -dua kebosanan dan struktur yang dimuatkan dengan wafer. Ini bermakna kawalan berterusan relau anad keadaannya semasa tempoh pengeluaran yang panjang.