Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari.
Tantalum karbida (TaC) adalah sebatian yang terdiri daripada tantalum dan karbon. Ia mempunyai kekonduksian elektrik logam dan takat lebur yang sangat tinggi, menjadikannya bahan seramik refraktori yang terkenal dengan kekuatan, kekerasan dan rintangan haba dan hausnya. Takat lebur Tantalum Carbides memuncak pada kira-kira 3880°C bergantung kepada ketulenan dan mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara sebatian binari. Ini menjadikannya alternatif yang menarik apabila permintaan suhu yang lebih tinggi melebihi keupayaan prestasi yang digunakan dalam proses epitaxial semikonduktor kompaun seperti MOCVD dan LPE.
Data bahan Salutan TaC Semicorex
Projek |
Parameter |
Ketumpatan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisiviti |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Rintangan (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Kestabilan Terma |
<2500 ℃ |
Perubahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai rujukan) |
Ketebalan Salutan |
≥20um nilai biasa (35um±10um) |
|
|
Di atas adalah nilai biasa |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck ialah komponen berprestasi tinggi yang direka untuk pengendalian wafer yang tepat dan proses suhu tinggi dalam pembuatan semikonduktor. Pilih Semicorex untuk produknya yang inovatif dan tahan lama yang memastikan prestasi optimum dan jangka hayat dalam aplikasi semikonduktor yang menuntut.*
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Semicorex TaC ialah komponen berprestasi tinggi yang direka untuk pertumbuhan kristal tunggal SiC, memastikan pengagihan aliran gas optimum dan kawalan suhu. Pilih Semicorex untuk kepakaran kami dalam bahan termaju dan kejuruteraan ketepatan, menyediakan penyelesaian tahan lama dan boleh dipercayai yang meningkatkan kecekapan dan kualiti proses semikonduktor anda.*
Baca LagiHantar PertanyaanBahagian Semicorex Tantalum Carbide ialah komponen grafit bersalut TaC yang direka untuk kegunaan berprestasi tinggi dalam aplikasi pertumbuhan kristal silikon karbida (SiC), menawarkan suhu dan rintangan kimia yang sangat baik. Pilih Semicorex untuk komponen yang boleh dipercayai dan berkualiti tinggi yang meningkatkan kualiti kristal dan kecekapan pengeluaran dalam pembuatan semikonduktor.*
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Semicorex Tantalum Carbide ialah komponen kritikal yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor termaju. Dikenali dengan kekerasan yang luar biasa, takat lebur yang tinggi, dan lengai kimia, Di Semicorex, kami berdedikasi untuk menyampaikan produk yang memenuhi standard kualiti dan prestasi tertinggi, memastikan pelanggan kami kekal di barisan hadapan dalam inovasi dalam industri semikonduktor.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor ialah dulang grafit yang disalut dengan tantalum karbida, digunakan dalam pertumbuhan epitaxial silikon karbida untuk meningkatkan kualiti dan prestasi wafer. Pilih Semicorex untuk teknologi salutan termaju dan penyelesaian tahan lama yang memastikan hasil epitaksi SiC yang unggul dan jangka hayat susceptor yang dilanjutkan.*
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Panduan Salutan TaC ialah cincin grafit dengan salutan tantalum karbida, direka untuk digunakan dalam relau pertumbuhan kristal karbida silikon untuk meningkatkan kualiti kristal. Pilih Semicorex untuk teknologi salutan canggihnya, memastikan ketahanan unggul, kestabilan haba dan prestasi pertumbuhan kristal yang dioptimumkan.*
Baca LagiHantar Pertanyaan