Pemegang kristal benih bersalut TaC ialah komponen berprestasi tinggi yang direka khusus untuk persekitaran pertumbuhan bahan semikonduktor. Sebagai pengeluar utama pemegang kristal benih bersalut TTaC, semicorex menawarkan penyelesaian komponen teras yang cekap dalam bidang pembuatan semikonduktor mewah.
Substrat daripadabersalut TaCpemegang kristal benih biasanya diperbuat daripada grafit, silikon karbida atau bahan komposit karbon/karbon, dan kemudian lapisan salutan TaC digunakan pada permukaannya melalui teknologi pemendapan wap kimia suhu ultra tinggi (CVD) termaju. Pemegang kristal benih bersalut TaC yang direka dengan kaedah ini mempunyai rintangan kakisan yang sangat baik, kekuatan mekanikal super, rintangan suhu tinggi yang baik dan kekonduksian terma yang cekap.
Fungsi pemegang kristal benih bersalut TaC
1.Fungsi sokongan
Pemegang kristal benih bersalut TaC Semicorex menyediakan platform sokongan yang stabil untuk kristal benih, menjamin kristal benih mengekalkan kedudukan tetap dalam keadaan yang mencabar seperti suhu tinggi dan vakum yang tinggi. Ini berkesan menghalang isu seperti anjakan kristal atau kerosakan daripada getaran dan aliran udara, dan dengan itu memastikan kesinambungan dan kestabilan pertumbuhan kristal.
2. Kesan Perlindungan
Pemegang kristal benih bersalut TaC dipasang di atas penutup pijar grafit, dan mengasingkan penutup grafit daripada wap Si bersuhu tinggi. Ini berkesan mengelakkan kakisan akibat wap dan memanjangkan jangka hayat penutup grafit. Selain itu, kestabilan kimia yang wujud dan rintangan suhu terma salutan TaC juga membantu mengurangkan kemasukan kekotoran, menyediakan persekitaran yang stabil dan bersih untuk pertumbuhan hablur benih.
3. Kawalan suhu
Pemegang kristal benih bersalut Semicorex TaC menggunakan teknik pembuatan yang berada di barisan hadapan dalam industri. Kawalan suhu yang tepat bagi medan haba boleh dicapai dengan mengoptimumkan bentuk, dimensi dan ketebalan salutan secara pakar. Ini dengan ketara mengurangkan kadar kecacatan dan menggalakkan pertumbuhan kristal seragam dengan cekap.