Cincin Panduan Bersalut Tantalum Carbide

Cincin panduan biasanya dipasang di atas mangkuk grafit dalam sistem medan haba. Mereka bekerja bersama-sama dengan pijar, pemanas, dan silinder penebat haba, dan komponen semikonduktor lain untuk membimbing dan mengawal pengagihan haba dan gas proses.

Akelebihandaripada Tsalutan karbida antalum

Terkenal dengan prestasi unggulSalutan TaCdalam aplikasi pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor generasi ketiga, salutan tantalum karbida menawarkan kelebihan berikut:

1. Kestabilan haba yang luar biasa

Tantalum karbida mempunyai rintangan haba yang hebat, dengan takat lebur ultra-tinggi 3880 ℃. Menampilkan kestabilan terma yang luar biasa ini, cincin panduan bersalut tantalum karbida Semicorex boleh digunakan secara stabil dalam persekitaran suhu tinggi di bawah 2500 ℃. Di samping itu, gabungan kedua-dua bahan ini meminimumkan risiko keretakan dan pengelupasan salutan yang disebabkan oleh perubahan suhu, yang dengan ketara membolehkan integriti struktur komponen semasa proses pemanasan dan penyejukan berulang.

2. rintangan kakisan yang luar biasa

Tantalum karbida mempunyai rintangan kakisan dan rintangan pengoksidaan yang luar biasa, dan lengai secara kimia kepada kebanyakan gas reaktif seperti ammonia, hidrogen dan silikon. Disebabkan oleh kestabilan kimia ini, cincin panduan bersalut Semicorex tantalum karbida berkesan menghalang gas reaktif daripada menghakis matriks dan merosakkan integriti strukturnya, di samping mengelakkan risiko pencemaran daripada bahan tindak balas dan kekotoran memasuki struktur kristal.

Prestasi Cincin Panduan Bersalut Semicorex Tantalum Carbide

Semicorexcincin panduan bersalut tantalum karbidagunakan grafit ketulenan tinggi sebagai matriks dan simpan lapisan TaC pada permukaan melalui teknologi CVD. Gabungan kedua-dua bahan ini membolehkan cincin panduan bersalut tantalum karbida Semicorex memberikan kelebihan berikut:

1. Panduan aliran gas dan pengoptimuman medan aliran

Semasa pertumbuhan kristal, penggunaan cincin panduan membantu mengoptimumkan pengagihan aliran dalam medan haba dan mengarahkan gas reaktif ke arah aliran yang boleh dikawal dan pengagihan seragam. Terima kasih kepada reka bentuk struktur khas mereka, cincin panduan bersalut Semicorex tantalum karbida boleh membimbing gas mengalir dan mengedar secara seragam, yang berkesan mengelakkan kepekatan gas tempatan yang terlalu tinggi atau rendah.

2. Pengawalseliaan Suhu dan Pengoptimuman Medan Terma

Cincin panduan bersalut tantalum karbida semicorex mempamerkan kekonduksian terma yang unggul, memainkan peranan penting dalam membantu mengawal taburan suhu dan menyediakan medan suhu yang stabil untuk pertumbuhan kristal. Sebagai contoh, cincin panduan bersalut tantalum karbida Semicorex boleh membantu mengekalkan kecerunan suhu dalam pertumbuhan PVT kristal karbida silikon, memastikan bahan tersebut terurai, mengangkut dan menghablur dalam keadaan yang sesuai.