Semicorex SIC Lid adalah komponen karbida silikon kemelut tinggi yang direka bentuk untuk persekitaran pemprosesan semikonduktor yang melampau. Memilih Semicorex bermakna memastikan kualiti bahan yang tidak dapat ditandingi, kejuruteraan ketepatan, dan penyelesaian tersuai yang dipercayai oleh pengeluar semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Semicorex Sic Lid adalah bahagian penting yang direka khusus untuk pemprosesan semikonduktor. Ia direka untuk persekitaran yang paling sukar dalam epitaxy, implan ion, dan aplikasi suhu tinggi. Ia dihasilkan dari karbida silikon ultra-tujuan yang mempunyai sifat bahan yang sangat stabil dan ketepatan kejuruteraan. Konsistensi jangka panjang, ketahanan, dan kebersihan adalah sebab utama untuk memilih tudung semikorex untuk digunakan dalam proses fabrikasi semikonduktor canggih.
Karbida silikon (sic)mempunyai pelbagai sifat yang unik berbanding dengan seramik tradisional atau bahan logam. Salah satu kelebihan utama SIC ialah perlawanan terhadap suhu tinggi. SIC boleh mengekalkan integriti struktur dan kestabilan mekanikal - untuk tempoh masa yang lama walaupun pada suhu tinggi. Ini menjadikan SIC sesuai untuk proses seperti epitaxy pemendapan wap kimia (CVD) atau implan ion tenaga tinggi. Logam dan plastik akan mengubah bentuk, mengoksidakan, atau mencemarkan pada suhu yang melampau, sementara SIC akan mengekalkan kestabilan dimensi dan tidak akan berinteraksi secara positif dengan wafer yang diproses.
Rintangan kimia adalah satu lagi ciri membezakan penutup SIC. Dalam pemprosesan semikonduktor persekitaran yang mungkin anda hadapi dengan gas menghakis, plasma, atau bahan kimia reaktif tidak biasa. Dalam senario tersebut, permukaan SIC akan memberikan penghalang lengai untuk menentang pencemar tersebut daripada merendahkan permukaan dari masa ke masa yang mengakibatkan kehidupan yang lebih berkesan. Panjang umur ini sama dengan kos penyelenggaraan yang dikurangkan, mengurangkan peralatan ke bawah, dan kebolehulangan merentasi kitaran proses yang dilanjutkan. Faktor -faktor ini menjadikan SIC tudung pilihan yang lebih baik untuk fabs yang memerlukan pengeluaran hasil yang berterusan dan tinggi berbanding dengan bahan tradisional.
Sama seperti rintangan kimia, kesucian juga paling penting dalam aplikasi semikonduktor. Kehadiran pencemar jejak boleh memberi kesan negatif terhadap prestasi peranti dan hasil. Sic Lid dibuat dari bahan silikon karbida silikon yang tinggi yang tidak termasuk kemungkinan kekotoran logam yang mengalir ke dalam persekitaran proses. Di samping itu, ia dijamin menjadi bersih yang mungkin dan stabil kerana ia berkaitan dengan bahan cemar dan kuasa luar yang memberi kesan kepada prestasi LID, yang penting dalam memenuhi keperluan pembuatan semikonduktor hari ini, di mana objek tahap nanometer mesti ditakrifkan dengan ketepatan tanpa dimensi dan kawalan bahan pencemar. Fleksibiliti yang ditawarkan SIC LID adalah nilai tambahan. Setiap komponen boleh direka untuk keperluan pelanggan tertentu berkenaan dengan saiz, geometri, dan kemasan permukaan. Ini memastikan bahawa tudung dapat dengan mudah dimasukkan ke dalam dan diintegrasikan dengan model peralatan dan alat proses yang berbeza.
Ketepatan pemesinanSicLID terus meningkatkan nilai penutup SIC. Alat semikonduktor memerlukan ketepatan mekanikal tertinggi disebabkan oleh turun naik yang besar dalam keserasian dimensi dan keseragaman permukaan, walaupun variasi kecil dalam keseragaman dan ketebalan bahan boleh menjejaskan konsistensi proses alat, throughput dan kualiti produk. Melalui teknologi canggih dalam pemprosesan bahan, penutup SIC mempunyai kebosanan, keseragaman permukaan dan toleransi yang melebihi piawaian industri konvensional, yang menawarkan ketebalan permukaan pengedap mekanikal, biasanya, beribu -ribu/ribu inci (TIR). Kebosanan yang tinggi membolehkan pengedap mekanikal yang sesuai serta jaminan untuk had gred makmal untuk mengalami keadaan dalam proses pengeluaran dapat direplikasi. Ini amat jelas dalam fabat volum tinggi di mana penekanan pada kebolehulangan keadaan adalah penting untuk prestasi peranti semikonduktor. Apabila anda mengejar kejuruteraan ketepatan, ia bercakap terus untuk menghasilkan pengoptimuman. Apabila penutup SIC berada dalam penggunaan praktikal yang tipikal, sebagai contoh, dalam epitaxy di mana penutup SIC duduk termal dan kimia stabil untuk mendapatkan reaktor, atau dalam sistem implantasi ion untuk menentang zarah -zarah yang bertenaga yang dikeluarkan dari rasuk kuasa tinggi yang memukul tudung, Mengapa penutup SIC ditakdirkan untuk menjadi sinonim dalam pengeluaran semikonduktor keadaan pepejal.
Semicorex SIC Lid mewakili yang terbaik dari kedua -dua sains bahan dan kejuruteraan bahan, dan menawarkan prestasi terbaik yang mungkin dalam persekitaran semikonduktor, di antara toleransi suhu tinggi mereka, rintangan kimia, kesucian ideal, fabrikasi adat, kerja pemesinan yang tepat, penutup SIC akan dilakukan.