Semicorex ialah rakan kongsi anda untuk menambah baik dalam pemprosesan semikonduktor. Salutan silikon karbida kami adalah padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan dalam keseluruhan kitaran pembuatan semikonduktor, termasuk pemprosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.
Komponen seramik SiC ketulenan tinggi adalah penting untuk proses dalam semikonduktor. Tawaran kami terdiri daripada bahagian boleh guna untuk peralatan pemprosesan wafer, seperti bot wafer Silicon Carbide, dayung julur, tiub, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Kelebihan untuk proses semikonduktor
Fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemprosesan pengendalian wafer seperti etsa atau implan ion mesti bertahan pada suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras. Semicorex membekalkan pembinaan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul dan rintangan kimia tahan lama, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten.
Penutup Bilik →
Penutup Kebuk yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemprosesan pengendalian wafer mesti tahan suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras.
Kayuh julur →
Cantilever Paddle ialah komponen penting yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam resapan atau relau LPCVD semasa proses seperti resapan dan RTP.
Tiub Proses →
Tiub Proses ialah komponen penting, direka khusus dalam pelbagai aplikasi pemprosesan semikonduktor seperti RTP, resapan.
Bot Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemprosesan semikonduktor, ia telah direka dengan teliti untuk memastikan wafer halus disimpan selamat semasa peringkat kritikal pengeluaran.
Gelang Masuk →
Cincin masuk gas bersalut SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan kompaun mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, yang mempunyai kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau.
Cincin Fokus →
Cincin fokus Semicorex membekalkan Silicon Carbide Coated adalah benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum seramik ultra-rata Semicorex adalah bersalut SiC ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pengendalian wafer.
Semicorex juga mempunyai produk seramik dalam Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Composite Ceramic, dll.
Semicorex CVD SIC Edge Ring adalah komponen yang menghadap plasma berprestasi tinggi yang direka untuk meningkatkan keseragaman etsa dan melindungi tepi wafer dalam pembuatan semikonduktor. Pilih Semicorex untuk kesucian bahan yang tidak dapat ditandingi, kejuruteraan ketepatan, dan kebolehpercayaan yang terbukti dalam persekitaran proses plasma lanjutan.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex pbn crucibles adalah kesucian ultra tinggi, bekas yang tidak aktif secara kimia sesuai untuk aplikasi suhu tinggi dan vakum. Pilih Semicorex untuk kualiti bahan yang tidak dapat ditandingi, kejuruteraan ketepatan, dan sokongan pakar yang dipercayai oleh pemimpin industri di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanBrek seramik karbon Semicorex adalah penyelesaian brek utama untuk aplikasi berprestasi tinggi. Pilih Semicorex untuk kepakaran bahan yang tidak dapat ditandingi, pembuatan ketepatan, dan kebolehpercayaan terbukti yang dipercayai oleh OEM terkemuka di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanPemanas Nitrida Aluminium Semicorex adalah unsur-unsur pemanasan seramik berprestasi tinggi yang dikenali sebagai kekonduksian terma yang luar biasa, tindak balas pesat, dan penebat elektrik. Memilih Semicorex bermakna bekerjasama dengan pakar yang dipercayai dalam teknologi seramik maju-menyampaikan penyelesaian yang direka bentuk ketepatan, kualiti yang konsisten, dan sokongan teknikal yang responsif yang disesuaikan dengan keperluan aplikasi anda.*
Baca LagiHantar PertanyaanBot SIC Semicorex 4 inci adalah pembawa wafer berprestasi tinggi yang direka untuk kestabilan terma dan kimia unggul dalam pembuatan semikonduktor. Dipercayai oleh pemimpin industri, Semicorex menggabungkan kepakaran bahan canggih dengan kejuruteraan ketepatan untuk menyampaikan produk yang meningkatkan hasil, kebolehpercayaan, dan kecekapan operasi.*
Baca LagiHantar PertanyaanPemanas Semicorex Aln adalah elemen pemanasan berasaskan seramik yang direka untuk aplikasi terma berprestasi tinggi. Pemanas ini menawarkan kekonduksian terma yang luar biasa, penebat elektrik, dan penentangan terhadap tekanan kimia dan mekanikal, menjadikannya ideal untuk menuntut aplikasi perindustrian dan saintifik. Pemanas Aln menyediakan pemanasan yang tepat dan seragam, memastikan pengurusan terma yang cekap dalam persekitaran yang memerlukan kebolehpercayaan dan ketahanan yang tinggi.*
Baca LagiHantar Pertanyaan