Semicorex ialah rakan kongsi anda untuk menambah baik dalam pemprosesan semikonduktor. Salutan silikon karbida kami adalah padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan dalam keseluruhan kitaran pembuatan semikonduktor, termasuk pemprosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.
Komponen seramik SiC ketulenan tinggi adalah penting untuk proses dalam semikonduktor. Tawaran kami terdiri daripada bahagian boleh guna untuk peralatan pemprosesan wafer, seperti bot wafer Silicon Carbide, dayung julur, tiub, dll untuk Epitaxy atau MOCVD.
Kelebihan untuk proses semikonduktor
Fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemprosesan pengendalian wafer seperti etsa atau implan ion mesti bertahan pada suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras. Semicorex membekalkan pembinaan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul dan rintangan kimia tahan lama, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten.
Penutup Bilik →
Penutup Kebuk yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemprosesan pengendalian wafer mesti tahan suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras.
Kayuh julur →
Cantilever Paddle ialah komponen penting yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam resapan atau relau LPCVD semasa proses seperti resapan dan RTP.
Tiub Proses →
Tiub Proses ialah komponen penting, direka khusus dalam pelbagai aplikasi pemprosesan semikonduktor seperti RTP, resapan.
Bot Wafer →
Wafer Boat digunakan dalam pemprosesan semikonduktor, ia telah direka dengan teliti untuk memastikan wafer halus disimpan selamat semasa peringkat kritikal pengeluaran.
Gelang Masuk →
Cincin masuk gas bersalut SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan kompaun mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, yang mempunyai kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau.
Cincin Fokus →
Semicorex membekalkan Cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum seramik ultra-rata Semicorex adalah bersalut SiC ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pengendalian wafer.
Semicorex juga mempunyai produk seramik dalam Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirkonia (ZrO2), Composite Ceramic, dll.
Cincin Penebat Aluminium Nitrida Semicorex adalah komponen yang amat diperlukan dalam pembuatan semikonduktor termaju, terutamanya dalam proses rawatan haba frekuensi tinggi. Gabungan unik kestabilan suhu tinggi, sifat pengedap yang unggul, kekonduksian terma yang luar biasa, dan ketahanan yang wujud menjadikannya penting untuk memastikan kawalan proses yang tepat, hasil peranti yang tinggi dan jangka hayat peralatan yang dilanjutkan dalam persekitaran fabrikasi semikonduktor yang menuntut. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Gelang Penebat Aluminium Nitrida berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Aluminium Nitride Electrostatic Chucks menawarkan gabungan sifat yang menarik yang menjadikannya sangat sesuai untuk keperluan pemprosesan wafer semikonduktor yang menuntut. Keupayaan mereka untuk menyediakan pengapit wafer yang selamat dan seragam, pengurusan haba yang sangat baik, dan ketahanan terhadap persekitaran pemprosesan yang keras diterjemahkan kepada prestasi peranti yang lebih baik, hasil yang lebih tinggi dan mengurangkan kos pembuatan. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Aluminium Nitride Electrostatic Chucks berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex SiC Wafer Inspection Chucks ialah pemboleh kritikal untuk pembuatan semikonduktor termaju, menangani permintaan yang semakin meningkat untuk ketepatan, kebersihan dan pemprosesan. Sifat bahan unggul mereka diterjemahkan kepada faedah ketara sepanjang proses fabrikasi wafer, akhirnya menyumbang kepada hasil yang lebih tinggi, prestasi peranti yang lebih baik dan kos pembuatan keseluruhan yang lebih rendah. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan SiC Wafer Inspection Chuck berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanLengan Robotik Seramik Alumina Semicorex, juga dikenali sebagai lengan robotik seramik pengendalian wafer atau garpu pengendalian wafer silikon seramik, ialah komponen peralatan semikonduktor berprestasi tinggi. Reka bentuknya mengambil kira keperluan ketat pembuatan semikonduktor. Dengan rintangan suhu tinggi, rintangan haus, kestabilan kimia, dan sifat penebat elektrik yang sangat baik, lengan seramik alumina memainkan peranan yang tidak boleh ditukar ganti dalam industri pembuatan semikonduktor global. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Lengan Robotik Seramik Alumina berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanSifat bahan termaju Tiub Relau Relau Semicorex SiC, termasuk kekuatan lenturan yang tinggi, pengoksidaan dan rintangan kakisan yang luar biasa, rintangan haus yang tinggi, pekali geseran rendah, sifat mekanikal suhu tinggi yang unggul, dan ketulenan ultra tinggi, menjadikannya amat diperlukan dalam industri semikonduktor. , terutamanya untuk aplikasi relau resapan. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Tiub Relau SiC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar PertanyaanDengan sifat bahan berkualiti tinggi, Semicorex SiC Diffusion Boat mewakili kefungsian optimum merentas spektrum luas parameter operasi: kekerasan, keanjalan, dan rintangan haba dan kimia, dsb. Pilihan bahan ini penting dalam mengurangkan risiko pencemaran, melindungi wafer, dan menahan keadaan mendesak yang terdapat dalam proses fabrikasi semikonduktor. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Bot Resap SiC berprestasi tinggi yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.**
Baca LagiHantar Pertanyaan