Bot Wafer Seramik SiC

Memilih bot wafer yang boleh dipercayai dan tahan lama adalah penting untuk memastikan kestabilan proses dan hasil wafer semasa keadaan operasi suhu tinggi dan kakisan tinggi. Semicorexseramik SiCbot wafer adalah pilihan ideal untuk tujuan ini dengan memproses pelbagai kelebihan mereka termasuk penyepaduan tinggi, kestabilan tinggi, rintangan suhu tinggi, rintangan haus dan hayat perkhidmatan yang panjang.

Pilihan bahan mentah premium

Kawalan kualiti Semicorex ke atasBot wafer seramik SiCbermula dengan pemilihan bahan mentah yang ketat. Bot wafer seramik Semicorex SiC diperbuat daripada serbuk silikon karbida tahap semikonduktor ketulenan tinggi melalui pensinteran suhu tinggi. Terima kasih kepada bahan mentah premium mereka, mereka memberikan prestasi luar biasa berikut.

1. Ketulenan ultra tinggi, pencemaran kekotoran logam rendah.

2. Struktur bahan padat, mengurangkan pencemaran wafer yang disebabkan oleh penumpahan zarah.

3. Rintangan kakisan yang sangat baik terhadap plasma, asid kuat dan alkali.

4. Kekerasan tinggi dan kekuatan mekanikal, tahan haus dan calar.

5. Kestabilan haba yang luar biasa, tiada ubah bentuk atau rayapan pada 1250°C.

6. Rintangan kejutan haba yang sangat baik, mengurangkan tegasan haba daripada perubahan suhu yang cepat.

Reka bentuk tersuai yang bijak

Bot wafer seramik Semicorex SiC sepadan dengan baik dengan banyak OEM relau terkemuka dalam industri, seperti TEL, ASM dan Kokusai Electric. Semicorex menawarkan penyelesaian kejuruteraan tersuai untuk pelanggan kami yang dihargai, menyokong penyesuaian dimensi bot wafer, padang slot, kedalaman slot, profil slot (bentuk V atau bentuk U), dan sudut yang sepadan untuk membolehkan keserasian sempurna dengan peralatan dan keperluan pemprosesan anda.

Ketepatan pemesinan ketepatan

Disokong dengan peralatan pemesinan termaju dan teknologi pemprosesan matang, Semicorex dapat mengawal ketat dimensi dan toleransi bot wafer seramik SiC mereka. Kawalan dimensi ketepatan tinggi ini memastikan wafer semikonduktor berada pada kedudukan yang kukuh semasa beroperasi, yang secara berkesan menghalang kerosakan wafer akibat daripada gelinciran atau senget. Selepas pemesinan ketepatan, slot bot wafer seramik SiC yang dijarakkan sama rata boleh memastikan setiap wafer dipanaskan dan bertindak balas secara seragam semasa proses pengoksidaan, resapan dan CVD, yang banyak menyumbang kepada peningkatan konsistensi proses dan hasil cip semikonduktor.