Pengesan Akhir Seramik

Semicorex ialah rakan kongsi anda untuk komponen dan pemasangan grafit lanjutan untuk menyokong daya pemprosesan yang lebih tinggi dan hasil yang lebih baik dalam peralatan pemprosesan semikonduktor anda. Pakar bahan kami bersedia untuk bekerjasama dengan anda untuk membangunkan penyelesaian tepat yang optimum untuk keperluan pengendalian, pemanasan dan pemprosesan wafer anda. Pengesan Akhir Seramik kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Ceramic End Effector ialah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara kedudukan dalam peralatan pemprosesan wafer dan pembawa. Pengesan akhir mestilah tepat dari segi dimensi dan stabil dari segi haba, sambil mempunyai permukaan yang licin dan tahan lelasan untuk mengendalikan wafer dengan selamat tanpa merosakkan peranti atau menghasilkan pencemaran zarah. Silikon karbida ketulenan tinggi Pengesan Akhir Seramik kami memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama.

Di Semicorex, kami menumpukan pada penyediaan Pengesan Akhir Seramik berkualiti tinggi dan kos efektif, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan menyediakan penyelesaian yang menjimatkan kos. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Pengesan Akhir Seramik

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300