Pemanas Wafer Bersalut SiC

Semicorex ialah pengeluar terkemuka bebas Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang memfokuskan pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP bidang pembuatan semikonduktor. Pemanas Wafer Bersalut SiC kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Pemanas Wafer Bersalut Semicorex SiC boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum. Pemanas Wafer Bersalut SiC ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman haba untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama. Salutan kristal SiC yang halus menyediakan permukaan yang bersih, licin, kritikal untuk pengendalian kerana wafer tulen menghubungi susceptor di banyak titik di seluruh kawasannya.
Di Semicorex, kami menumpukan pada penyediaan Pemanas Wafer Bersalut SiC yang berkualiti tinggi dan menjimatkan kos, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan menyediakan penyelesaian yang kos efektif. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Pemanas Wafer Bersalut SiC

Spesifikasi Teknikal	VET-M3
Ketumpatan Pukal (g/cm3)	≥1.85
Kandungan Abu (PPM)	≤500
Kekerasan Pantai	≥45
Rintangan Khusus (μ.Ω.m)	≤12
Kekuatan lentur (Mpa)	≥40
Kekuatan Mampatan (Mpa)	≥70
Maks. Saiz Bijirin (μm)	≤43
Pekali Pengembangan Terma Mm/°C	≤4.4*10-6

Ciri-ciri Pemanas Wafer Bersalut SiC

- Grafit bersalut SiC ketulenan tinggi
- Rintangan haba yang unggul & keseragaman haba
- Disalut kristal SiC halus untuk permukaan licin
- Ketahanan tinggi terhadap pembersihan kimia
- Bahan direka bentuk supaya keretakan dan penyingkiran tidak berlaku.