SiC Focus Ring

Cincin Fokus Semicorex Sic adalah komponen bentuk cincin yang direka bentuk, yang dihasilkan oleh karbida silikon kemelut tinggi. Cincin Fokus SIC direka untuk aplikasi pemprosesan semikonduktor maju. Karbida silikon kemelut tinggi memberikan prestasi yang sangat baik dari segi kestabilan haba (titik lebur yang tinggi), ketahanan mekanikal (kekerasan tinggi), dan sifat konduksi elektrik, yang penting untuk memadankan spesifikasi banyak teknologi fabrikasi wafer generasi akan datang. Cincin fokus SIC adalah komponen yang terdapat dalam komponen -komponen ruang etsa dan pemendapan plasma, dan memainkan peranan penting dalam mengawal pengedaran plasma, mencapai keseragaman wafer, dan hasil dalam pengeluaran besar -besaran.

Kesucian material dan prestasi elektrik cincin fokus SIC adalah beberapa faktor yang paling kritikal yang menentukan komponen ini dan membezakannya dari bahan seramik. Kemelut tinggiSilicon Carbidetidak seperti bahan seramik tradisional, kerana ia memberikan gabungan 

kekerasan serta penentangan terhadap banyak bahan kimia, dan sifat elektrik yang unik. Terutama, lebih penting lagi, karbida silikon kemelut tinggi boleh direkayasa dengan menggunakan dopan dan kaedah pemprosesan untuk menghasilkan tahap konduktif atau penghinaan yang paling sesuai dengan keseimbangan semi-konduksi yang ideal untuk berinteraksi dengan plasma, yang membolehkan prestasi yang stabil dalam persekitaran tenaga tinggi di mana caj membina dan ketidakseimbangan elektrik lebih cenderung menyebabkan proses penyingkiran.

Oleh kerana kesan kelebihan plasma, ketumpatan lebih tinggi di tengah dan lebih rendah di tepi. Cincin fokus, melalui bentuk anulus dan sifat bahan CVD sic, menghasilkan medan elektrik tertentu. Panduan medan ini dan mengurung zarah -zarah yang dikenakan (ion dan elektron) dalam plasma ke permukaan wafer, terutamanya di pinggir. Ini berkesan menimbulkan ketumpatan plasma di tepi, membawa lebih dekat kepada yang di tengah. Ini meningkatkan keseragaman etsa di seluruh wafer, mengurangkan kerosakan kelebihan, dan meningkatkan hasil.

Proses Pembuatan Merkuri Cincin Fokus SIC menggunakan proses pemesinan dan penggilap yang canggih yang mencapai toleransi dimensi yang ketat dan kemasan permukaan yang licin. Ketepatan dimensi komponen ini membolehkan keserasian dengan pelbagai pembekal peralatan semikonduktor untuk memastikan interchangeability merentasi banyak sistem etch dan pemendapan plasma. Reka bentuk tersuai juga boleh dibangunkan untuk memenuhi keperluan proses tertentu termasuk ketebalan cincin, diameter dalaman dan luar, dan tahap kekonduksian permukaan.

Aplikasi cincin fokus SIC meliputi pelbagai jenis fabrikasi semikonduktor: dram, nand flash, peranti logik, dan teknologi semikonduktor kuasa baru. Sebagai geometri peranti mengecut dan terus maju melalui nod proses, keperluan untuk komponen ruang yang sangat boleh dipercayai seperti cincin fokus SIC menjadi kritikal. Cincin fokus SIC memberikan kawalan tepat plasma dan secara konsisten meningkatkan kualiti wafer, melanjutkan cita-cita industri ke arah peranti elektronik yang lebih kecil, lebih cepat, dan cekap. Cincin Fokus Semicorex Sic mentakrifkan titik persimpangan sains bahan, kejuruteraan ketepatan, dan evolusi proses semikonduktor. Cincin fokus SIC mempunyai kestabilan terma yang sangat baik, rintangan kimia unggul, dan kekonduksian elektrik tertentu. Ciri -ciri ini menjadikannya komponen kritikal dalam memastikan kebolehpercayaan dan hasil semasa proses.