Bahagian seramik semikonduktor

Bahagian seramik semikonduktor tergolong dalam seramik maju dan merupakan sebahagian daripada proses pembuatan semikonduktor. Bahan-bahan mentah untuk penyediaan biasanya adalah kesulitan tinggi, bahan bukan organik ultra-halus, seperti aluminium oksida, karbida silikon, aluminium nitrida, silikon nitrida, yttrium oksida, zirkonium oksida, dll.

Aluminium oksida

Ia digunakan secara meluas, dan prestasi produk berbeza -beza mengikut kesucian. Kesucian 95% adalah cahaya kuning, dan kesucian 99% adalah Snow White. Ia mempunyai ketegaran, kekuatan, rintangan haus, rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan, dan boleh digunakan untuk menyediakan kebanyakan bahagian seramik semikonduktor, seperti muncung seramik, lengan seramik, dan lain -lain.

Silicon Carbide

Ia hitam, mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, kekuatan dan kekerasan yang tinggi, berat ringan, rintangan kejutan yang baik, dan sering digunakan untuk menyediakan lengan vakum dan cawan sedutan vakum.

Aluminium nitride

Ia mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, pekali pengembangan haba yang sepadan dengan silikon, kehilangan pemalar dielektrik dan dielektrik yang rendah, dan boleh digunakan untuk membuat substrat pelesapan haba, muncung seramik, dan lain -lain.

Silikon nitrida

Titik lebur yang tinggi, kekerasan ultra tinggi, inertness kimia yang tinggi, pekali pengembangan haba yang rendah, kekonduksian terma yang tinggi, rintangan kejutan terma yang baik, rintangan dan kekuatan impak yang tinggi di bawah 1200 ℃, sering digunakan untuk membuat substrat seramik, tiub seramik, dll.

Yttrium oxide

Titik lebur yang tinggi, kestabilan kimia dan fotokimia yang baik, kekonduksian terma yang tinggi, transmisi cahaya yang baik, sering digabungkan dengan alumina untuk membuat tingkap seramik.

Zirkonium oksida

Kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan suhu tinggi, asid dan rintangan alkali, penebat yang baik, mengikut kandungan yang berbeza boleh dibuat dari produk seramik untuk tujuan yang berbeza, seperti substrat litar bersepadu, dll.

Jenis Bahagian:

Bahagian seramik semikonduktor "All-Rounder" dengan fungsi yang berbeza digunakan secara meluas dalam pelbagai jenis peralatan utama semikonduktor, terutamanya termasuk yang berikut:

Lengan seramik semikonduktor

Memainkan peranan dalam peralatan semikonduktor ketika mengangkut wafer, dan perlu bekerja dalam persekitaran bersih vakum. Biasanya disediakan dengan alumina kemelut tinggi atau karbida silikon, alumina adalah kos efektif dan digunakan lebih banyak.

Substrat seramik

Digunakan dalam bidang pembungkusan elektronik yang berlainan, seperti peranti elektronik kuasa, laser, dan lain -lain, dan sering disediakan dengan bahan -bahan seperti alumina dan silikon nitrida.

Muncung seramik

Dalam HDP-CVD, kualitinya mempengaruhi kadar kesucian dan aliran gas tindak balas. Seramik aluminium nitrida lebih sesuai untuk peralatan proses maju kerana prestasi cemerlang mereka.

Tingkap seramik

Ia adalah komponen utama etcher semikonduktor. Ia boleh menjadi vakum yang dimeteraikan tanpa menjejaskan penembusan plasma. Ia biasanya diperbuat daripada alumina kemelut tinggi dan yttrium oksida.

Perlindungan ruang seramik

Ia adalah komponen utama peralatan pemendapan filem nipis, yang penting untuk memastikan kualiti wafer dan pengedap ruang reaksi.

Vakum Seramik Chuck

Ia digunakan untuk meletakkan dan mengepung wafer silikon. Ia adalah seramik berliang yang diperbuat daripada dua bahan seramik.

Proses Penyediaan:

Proses penyediaan bahagian seramik semikonduktor "ketukangan" adalah rumit, terutamanya termasuk langkah -langkah berikut:

Penyediaan serbuk

Bahan mentah perlu diproses semula, dan serbuk mentah yang memenuhi keperluan diperolehi melalui batching, penggilingan bola mekanikal, pengeringan semburan dan proses lain.

Cetakan serbuk

Tekan kering, menekan isostatik, pemutus pita, pengacuan suntikan, pengacuan suntikan gel dan kaedah lain biasanya digunakan untuk membuat serbuk ke dalam badan hijau seramik.

Sintering suhu tinggi

Badan hijau seramik diubah menjadi badan yang padat melalui sintering tekanan biasa, sintering vakum, suasana sintering dan kaedah lain.

Pemesinan ketepatan

Badan yang dimasak seramik sintered diproses dengan pelaut CNC, pengisar, dan lain -lain untuk mencapai saiz dan ketepatan yang diperlukan.

Pemeriksaan Kualiti

Penampilan, saiz, keliangan, kekasaran dan sifat -sifat lain dari bahagian seramik diuji untuk memastikan kualiti produk.

Rawatan permukaan

Permukaan produk yang lulus pemeriksaan kualiti dibersihkan, dan rawatan permukaan selanjutnya diperlukan untuk keperluan khas, seperti penyemburan arka, penyemburan plasma, dan lain -lain.

Semicorex menawarkan berkualiti tinggibahagian seramikdalam semikonduktor. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.

Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com