Memperkenalkan bahan alumina

Alumina SeramikKomponen mempunyai sifat yang sangat baik seperti kekerasan yang tinggi, kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan haus super, rintangan suhu tinggi, resistiviti yang tinggi, dan prestasi penebat elektrik yang baik. Mereka dapat memenuhi keperluan prestasi kompleks pembuatan semikonduktor dalam persekitaran khas seperti vakum dan suhu tinggi. Mereka memainkan peranan yang tidak boleh digantikan dan penting dalam barisan pengeluaran semikonduktor. Aplikasi mereka meliputi hampir semua peralatan pembuatan semikonduktor dan merupakan komponen utama peralatan pengeluaran semikonduktor. Dengan perkembangan berterusan industri semikonduktor, kepentingan komponen seramik alumina dalam rantaian perindustrian akan menjadi lebih menonjol.

Apabila saiz ciri cip berkurangan, peralatan semikonduktor mempunyai keperluan yang lebih ketat pada komponen, dan ketumpatannya, keseragaman, rintangan kakisan, dan lain -lain diperlukan untuk menjadi lebih tinggi. Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, para ulama domestik dan asing telah membangunkan pelbagai proses baru untuk memperbaiki keadaan sintering bahan seramik alumina, supaya mereka dapat mencapai penyisihan bahan-bahan yang cepat pada suhu sintering yang lebih rendah, seperti sintering suhu tinggi, sintering flash, sintering sejuk, dan sintering tekanan yang berayun. Antaranya, sintering sejuk adalah untuk menambah pelarut sementara ke serbuk dan menggunakan tekanan yang besar (350 ~ 500mpa) untuk meningkatkan penyusunan semula dan penyebaran antara zarah, supaya serbuk seramik dapat disinter dan tersentuh pada suhu yang lebih rendah (120 ~ 300 ℃) dan masa yang lebih pendek.

Pada masa ini, proses pembuatan litar bersepadu global telah dibangunkan ke proses yang lebih maju di peringkat 3-nanometer. Peralatan semikonduktor dan komponen ketepatan peralatan semikonduktor mesti terus maju dan dinaik taraf, dan penambahbaikan proses mesti dibuat untuk memenuhi keperluan pembuatan hiliran. Sebaik sahaja peralatan semikonduktor dikemas kini, keperluan khusus peralatan baru untuk komponen akan berubah secara serentak. Dengan perkembangan teknologi semikonduktor, keperluan prestasi untuk komponen seramik alumina semakin tinggi dan lebih tinggi, termasuk rintangan haus yang lebih tinggi, rintangan suhu tinggi, dan penebat elektrik yang lebih baik. Trend industri cenderung untuk membangunkan kesucian yang lebih tinggi, bahan serbuk alumina yang lebih tinggi, dan mengamalkan teknologi penyediaan lanjutan.

Seramik Aluminamempunyai keperluan kesucian yang sangat tinggi apabila digunakan dalam bidang semikonduktor, umumnya lebih besar daripada 99.5%. Dalam bidang semikonduktor, bahagian seramik alumina adalah salah satu bahagian utama peralatan semikonduktor. Kebanyakan mereka digunakan di dalam bilik lebih dekat dengan wafer. Dalam peralatan semikonduktor, mereka diklasifikasikan dengan penggunaan dan terutamanya dibahagikan kepada silinder anulus, panduan aliran udara, gasket tetap, tangan, modul, dll.

Dalam proses etsa, untuk mengurangkan pencemaran wafer semasa etsa plasma, salutan alumina kemelut tinggi atau seramik alumina dengan rintangan kakisan yang kuat dipilih sebagai bahan perlindungan untuk ruang etsa dan lapisan ruang.

Dalam proses pembersihan plasma, gas menghakis yang mengandungi unsur -unsur halogen yang sangat reaktif seperti fluorin dan klorin digunakan. Muncung gas biasanya diperbuat daripada seramik alumina, yang dikehendaki mempunyai rintangan plasma yang tinggi, kekuatan dielektrik, dan ketahanan kakisan yang kuat untuk memproses gas dan produk sampingan. Pada masa yang sama, struktur lubang ketepatan dalaman digunakan untuk mengawal aliran gas dengan tepat.

Dalam proses pembuatan semikonduktor, wafer mungkin menjalani rawatan suhu tinggi, seperti etsa, implantasi ion, dan lain-lain sebagai pembawa untuk penghantaran wafer, pembawa wafer alumina dapat memastikan kestabilan dan keselamatan wafer semasa proses penghantaran. Pembawa wafer alumina mempunyai kekonduksian terma yang baik dan dapat menyebarkan dan mengeksport haba yang dihasilkan oleh wafer, dengan itu melindungi wafer dari kerosakan haba.

Dalam pengendalian wafer, lengan robot seramik yang diperbuat daripada seramik alumina akan digunakan. Ia akan dipasang pada robot pengendalian wafer, yang bersamaan dengan tangan robot. Ia bertanggungjawab untuk membawa wafer ke lokasi yang ditetapkan, dan permukaannya bersentuhan langsung dengan wafer. Kerana wafer sangat terdedah kepada pencemaran oleh zarah -zarah lain, mereka biasanya dijalankan dalam persekitaran vakum. Dalam persekitaran ini, lengan robotik kebanyakan bahan umumnya sukar untuk menyelesaikan kerja. Bahan-bahan yang digunakan untuk membuat lengan robot perlu tahan terhadap suhu tinggi, tahan haus, dan mempunyai kekerasan yang tinggi. Oleh kerana keperluan keadaan kerja, mereka biasanya diperbuat daripada bahan seramik alumina yang sangat tinggi, dan ketepatan dan kekasaran permukaan bahagian seramik perlu dijamin.

Semicorex menawarkan berkualiti tinggiBahagian seramik aluminaDalam semikonduktor, termasuk salutan SIC dan salutan TAC. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.

Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com