Bot wafer karbida silikon

Di sebalik setiap proses suhu tinggi dalam pembuatan wafer terletak pemain senyap namun penting: bot wafer. Sebagai pembawa teras yang secara langsung menghubungi wafer silikon semasa pemprosesan wafer, bahan, kestabilan, dan kebersihannya secara langsung berkaitan dengan hasil cip akhir dan kestabilan proses. Antara pelbagai bahan pembawa,karbida silikon (sic)Bot secara beransur-ansur menggantikan penyelesaian kuarza tradisional, menjadi penyelesaian pilihan untuk proses lanjutan dan peralatan mewah.

Mengapa bot wafer sic?

Dengan kemajuan nod proses di bawah 7nm dan pengembangan tingkap proses suhu tinggi, bot wafer kuarza tradisional semakin bergelut dari segi kestabilan haba, kawalan zarah, dan pengurusan jangka hayat.

Walau bagaimanapun, bot wafer karbida silikon secara beransur -ansur mendapat keunggulan kerana kelebihan berikut:

1. Stabil pada suhu tinggi:

Mereka menawarkan suhu operasi jangka panjang sebanyak 1350-1600 ° C, dengan mudah mengendalikan proses arus perdana seperti CVD, penyebaran, dan penyepuhlindapan. Malah pendedahan ringkas kepada suhu 1800 ° C tidak menunjukkan pelembutan atau ubah bentuk, menjadikannya sesuai untuk peralatan yang lebih tinggi seperti relau karbida silikon tunggal.

2. Pengembangan rendah dan kestabilan kejutan terma yang tinggi:

Dengan pekali pengembangan haba yang rendah, mereka dapat menahan peningkatan suhu dan penurunan suhu yang cepat, meminimumkan retak struktur yang disebabkan oleh tekanan haba. Mereka mengekalkan morfologi dan prestasi yang sangat baik dalam atmosfera suhu tinggi, kompleks (seperti hidrogen, nitrogen, ammonia, dan fluorida).

3. Permukaan dan pencemaran yang sangat rendah:

Kesucian bahan yang tinggi dengan kekotoran logam minimum. Kekasaran permukaan yang rendah, mencegah pencemaran sekunder wafer silikon; Kawalan kekasaran permukaan yang sangat baik, dengan RA di bawah 0.1μm, menindas penumpahan zarah dan memenuhi keperluan bersih proses lanjutan;

4. Satu keping pencetakan, Struktur bot wafer yang missi ketepatan boleh dibentuk secara langsung melalui cetakanPercetakan 3D, menghapuskan keperluan untuk acuan, meningkatkan kecekapan penyesuaian; Dikombinasikan dengan pemesinan lima paksi dan teknologi pemotongan dawai, gigi bot bebas burr, menghalang calar pada wafer dan memastikan pengendalian automatik yang lancar;

5. Kekuatan Tinggi dan Kehidupan Panjang: 

Bot tunggal mempunyai kekuatan beban yang tinggi dan secara serentak dapat menyokong berpuluh-puluh untuk beratus-ratus wafer 12 inci. Berbanding dengan bot kuarza tradisional, jangka hayat purata bot adalah 5-10 kali lebih lama, mengurangkan kekerapan perubahan peralatan dan jumlah kos pemilikan.

Senario aplikasi

Kebolehsuaian yang luasbot wafer karbida silikonMemperluaskan permohonan mereka di luar bidang semikonduktor ke pelbagai senario proses suhu tinggi, termasuk bahan tenaga baru, pembuatan LED, dan penyelidikan tenaga nuklear.

Industri Semikonduktor

Ia sesuai untuk proses utama seperti pengoksidaan, penyebaran, pemendapan CVD, dan implantasi ion, menjadikannya pembawa suhu tinggi yang sangat diperlukan untuk garisan proses sub-7nm.

Industri Photovoltaic

Dalam teknologi bateri yang baru muncul seperti TOPCON dan HJT, bot wafer digunakan dalam proses relau suhu tinggi seperti LPCVD dan penyepuhlindapan, membantu meningkatkan kecekapan tenaga dan kadar penukaran.

Semikonduktor generasi ketiga

Untuk proses pertumbuhan epitaxial GAN ​​dan SIC di LED, mereka menyokong substrat nilam atau silikon karbida. Mereka menahan gas menghakis seperti NH₃ dan HCL, menyokong pembuatan peranti kuasa frekuensi tinggi.

Bahan Tenaga Baru & Penyelidikan Platform Suhu Tinggi

Menyokong tindak balas sintering bahan katod bateri lithium dan rawatan haba bahan industri nuklear, menggabungkan rintangan haba, rintangan kakisan, dan kebersihan.

Semicorex menawarkan kemarahan tinggibot wafer sic disesuaikan. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.

Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com