Apakah proses epitaxy silikon?

Epitaxy silikon adalah proses fabrikasi utama untuk litar bersepadu. Ia membolehkan peranti IC dibuat pada lapisan epitaxial yang doped ringan dengan lapisan terkubur yang dikebumikan, sementara juga membentuk persimpangan PN yang berkembang, dengan itu menyelesaikan masalah pengasingan ICS.Wafer epitaxial silikonjuga merupakan bahan utama untuk membuat peranti semikonduktor diskret kerana mereka dapat memastikan voltan pecahan tinggi persimpangan PN sambil mengurangkan penurunan voltan ke hadapan. Menggunakan wafer epitaxial silikon untuk mengarang litar CMOS boleh menindas kesan selak, oleh itu, wafer epitaxial silikon semakin banyak digunakan dalam peranti CMOS.

Prinsip epitaxy silikon

Epitaxy silikon umumnya menggunakan relau epitaxy fasa wap. Prinsipnya adalah bahawa penguraian sumber silikon (seperti silane, diklorosilane, trichlorosilane, dan silikon tetrachloride bertindak balas dengan hidrogen untuk menghasilkan silikon. Resistivity.

Kelebihan epitaxy silikon untuk peranti

1. Rintangan siri -kuasa, memudahkan teknik pengasingan, dan mengurangkan kesan penerus terkawal silikon dalam CMOS.

2. Lapisan epitaxial resistiviti (rendah) boleh ditanam secara epitaxially pada substrat resistiviti rendah (tinggi);

3. Lapisan epitaxial jenis N (P) boleh ditanam pada substrat jenis P (n) untuk membentuk persimpangan PN secara langsung, menghapuskan masalah pampasan yang berlaku apabila membuat persimpangan PN pada substrat kristal tunggal menggunakan kaedah penyebaran.

4. Ditangkap dengan teknologi pelekat, pertumbuhan epitaxial terpilih boleh dilakukan di kawasan yang ditetapkan, mewujudkan keadaan untuk fabrikasi litar dan peranti bersepadu dengan struktur khas.

5. Menggabungkan proses pertumbuhan epitaxial, jenis dan kepekatan doping boleh diselaraskan seperti yang diperlukan; Perubahan kepekatan boleh sama ada tiba -tiba atau beransur -ansur.

6. Jenis dan kepekatan dopan boleh diselaraskan seperti yang diperlukan semasa proses pertumbuhan epitaxial. Perubahan kepekatan boleh tiba -tiba atau beransur -ansur.

Semicorex menyediakan Si epitaxial componendiperlukan untuk untuk peralatan semikonduktor. Sekiranya anda mempunyai pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, jangan ragu untuk berhubung dengan kami.

Hubungi Telefon # +86-13567891907

E -mel: sales@semicorex.com