Apakah Fungsi Cincin Fokus?

Cincin fokus ialah komponen penting untuk memastikan keseragaman dan kestabilan proses goresan semikonduktor. Melalui kawalan tepat medan elektrik dan haba, cincin fokus boleh menumpukan plasma pada permukaan wafer, memastikan hasil goresan yang konsisten di semua lokasi pada wafer.

Fungsi cincin fokus

1. Meningkatkan keseragaman goresan

Dalam proses etsa, cincin fokus boleh menumpukan plasma padawaferpermukaan, yang secara berkesan menjamin ketumpatan plasma seragam, sudut pengeboman ion, dan tahap tenaga merentasi kedua-dua bahagian tepi wafer dan kawasan tengah. Mereka membetulkan taburan medan elektrik di pinggir wafer, mengurangkan kadar goresan, dimensi kritikal dan variasi morfologi yang disebabkan oleh kesan tepi, dengan itu memastikan konsistensi goresan merentas seluruh permukaan wafer. Jika gelang pemfokus sudah haus secara berlebihan atau tiada gelang fokus, plasma akan meresap dari tepi wafer, akhirnya menyebabkan penyimpangan tidak akur dalam lebar garisan antara kawasan tepi dan tengah.

2. Lindungi chuck elektrostatik

Cincin fokus biasanya dipasang di luar permukaan pembawa wafer chuck elektrostatik, secara langsung terdedah kepada pengeboman plasma dan kakisan. Perkhidmatan persediaan ansuran ini sebagai penghalang fizikal untuk menghalang plasma daripada menghubungi chuck elektrostatik semasa proses etsa, dengan itu mengurangkan risiko kerosakan plasma dengan ketara. Cincin fokus juga boleh menghalang produk sampingan yang dihasilkan semasa proses etsa daripada melekat pada chuck elektrostatik, sekali gus mengelakkan kemerosotan prestasi yang disebabkan oleh pencemaran chuck dan tersumbat. Ini memanjangkan kitaran penyelenggaraan dan jangka hayat chuck elektrostatik, mengurangkan kos penyelenggaraan dan penggantian peralatan.

Cincin fokus biasanya dibuat daripada ketulenan tinggikuarza, silikondansilikon karbidabahan. Terima kasih kepada prestasi komprehensif yang sangat baik, bahan silikon karbida secara beransur-ansur menjadi pilihan arus perdana untuk proses goresan yang canggih. Sebagai pembekal cincin fokus semikonduktor yang dipercayai di China, Semicorex menawarkan kualiti tinggicincin fokus silikon karbidapelbagai saiz untuk memadankan keperluan peralatan etsa yang berbeza. Semicorex mengalu-alukan pertanyaan dan pembelian anda pada bila-bila masa.