Apakah Bot SiC, dan Apakah Pelbagai Proses Pengilangannya?

1. Proses Pengilangan yang Berbeza bagiBot SiC

(1) Menyalut lapisanFilem SiCpada permukaan grafitbot kristalmelalui CVD

Bot jenis ini mempunyai teras grafit, yang dimesin dalam satu bahagian. Walau bagaimanapun,grafit berliangdan terdedah kepada penjanaan zarah, memerlukan penggunaan aSalutan filem SiCpada permukaannya. Disebabkan oleh ketidakpadanan dalam Pekali Pengembangan Terma (CTE) antara jasad grafit danFilem SiC, salutan berkemungkinan mengelupas selepas beberapa kitaran pemanasan dan penyejukan, yang membawa kepada pencemaran zarah. Bot ini adalah yang paling murah dan mempunyai jangka hayat kira-kira satu tahun.

(2) Menyalut lapisanFilem SiCpada penghabluran semulaBot kristal SiC

Dihablurkan semulabot SiCjuga berliang dan boleh menjana zarah dengan mudah. Oleh itu, komponen individu penghabluran semulabot SiCmesti dibentuk terlebih dahulu, disinter, dan kemudian dimesin secara berasingan. Selepas itu, komponen diikat bersama pada suhu tinggi menggunakan pes Si. Setelah dihimpun menjadi satu perahu, aFilem SiCdigunakan melalui CVD. Ini dikristalkan semulabot SiCmempunyai proses pembuatan terpanjang dan mahal, tetapi permukaannyaSalutan CVDjuga boleh rosak, dengan jangka hayat sekitar tiga tahun.

(3)monolitikBot kristal SiC

Inibotsepenuhnya terdiri daripada bahan SiC. Serbuk SiC mesti diacu dan disinter ke dalam bentuk bot monolitik. Sangat mahal, ia sangat tahan lama dan kurang berkemungkinan menghasilkan zarah. Walau bagaimanapun, bot ini mengandungi 10-15% silikon bebas, yang terdedah kepada hakisan oleh fluorin dan klorin, yang membawa kepada pencemaran zarah.

2. Mengapa Cucian Kering Tidak Digalakkan?

Secara ringkasnya, untukbot SiCdisalut dengan aFilem SiC melalui CVD, salutan permukaan terdedah kepada pengelupasan semasa cucian kering, yang menyebabkan pencemaran zarah. Untuk monolitikbot SiCyang mengandungi sejumlah kecil silikon bebas, pendedahan kepada gas yang mengandungi fluorin atau klorin boleh menyebabkan hakisan dan penjanaan zarah, sekali gus menyebabkan pencemaran.**