Pelbagai aplikasi kuarza dalam pembuatan semikonduktor

Pada pandangan pertama,bahan kuarza (SiO2).kelihatan sangat mirip dengan kaca, tetapi apa yang istimewa ialah kaca biasa terdiri daripada banyak komponen (seperti pasir kuarza, boraks, asid borik, barit, barium karbonat, batu kapur, feldspar, abu soda, dll.), manakala kuarza hanya mengandungi SiO2, dan struktur mikronya ialah rangkaian ringkas yang terdiri daripada unit struktur tetrahedral silikon dioksida.

Kerana jumlah kekotoran logam yang terkandung di dalamnyakuarzaadalah sangat kecil dan ketulenannya sangat tinggi, kuarza itu sendiri mempunyai ciri dan kelebihan yang tidak dapat ditunjukkan oleh cermin mata lain, dan dikenali sebagai "mahkota" bahan kaca. Sebagai contoh, dari segi rintangan haba, kuarza tidak akan meletup walaupun ia segera diletakkan di dalam air selepas dibakar merah dalam api. Kelebihan yang lebih khusus adalah seperti berikut:

1. Rintangan suhu tinggi. Titik lembut kaca kuarza adalah kira-kira 1730 ℃, dan ia boleh digunakan untuk masa yang lama pada 1150 ℃, dan suhu maksimum boleh mencapai 1450 ℃ untuk masa yang singkat.

2. Rintangan kakisan. Kecuali asid hidrofluorik, kuarza ketulenan tinggi hampir tiada tindak balas kimia dengan bahan asid lain. Pada suhu tinggi, ia boleh menahan kakisan daripada asid sulfurik, asid nitrik, asid hidroklorik, aqua regia, garam neutral, karbon dan sulfur. Rintangan asidnya adalah 30 kali ganda daripada seramik dan 150 kali ganda daripada keluli tahan karat. Terutamanya kestabilan kimianya pada suhu tinggi tidak dapat ditandingi oleh mana-mana bahan kejuruteraan lain.

3. Kestabilan haba yang baik. Kuarza ketulenan tinggi mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat kecil dan boleh menahan perubahan suhu yang drastik. Apabila kuarza ketulenan tinggi dipanaskan hingga kira-kira 1100°C, ia tidak akan meletup apabila diletakkan di dalam air suhu bilik.

4. Transmisi cahaya yang baik. Kuarza ketulenan tinggi mempunyai penghantaran cahaya yang baik dalam keseluruhan spektrum dari ultraviolet ke inframerah, dan penghantaran cahaya yang boleh dilihat adalah melebihi 93%, terutamanya di kawasan spektrum ultraviolet, penghantaran maksimum boleh mencapai lebih daripada 80%.

5. Prestasi penebat elektrik yang baik. Nilai rintangan kuarza ketulenan tinggi adalah bersamaan dengan 10,000 kali ganda daripada kaca kuarza biasa. Ia adalah bahan penebat elektrik yang sangat baik dan mempunyai sifat elektrik yang baik walaupun pada suhu tinggi.

Terima kasih kepada sifat fizikal dan kimia yang sangat baik ini, bahan kuarza ketulenan tinggi digunakan secara meluas dalam teknologi elektronik moden, semikonduktor, komunikasi, sumber cahaya elektrik, tenaga suria, instrumen pengukuran pertahanan negara berketepatan tinggi, instrumen fizikal dan kimia makmal, tenaga nuklear, industri nano, dsb. Khususnya, dalam industri semikonduktor yang pesat membangun, skala wafer silikon telah meningkat, jadi pengeluar cip mempunyai permintaan yang besar untuk pelbagai komponen kuarza. Walau bagaimanapun, perlu juga diperhatikan bahawa untuk mengelakkan pencemaran semasa proses pemprosesan, ketulenan tinggi bahan kuarza mesti dipastikan semasa digunakan.

Dalam industri semikonduktor,kuarzadigunakan secara meluas, dan produk kuarza ketulenan tinggi adalah bahan habis yang penting dalam pengeluaran wafer. Bahagian kuarza seperti mangkuk pijar, bot kristal, dan tiub teras relau resapan yang digunakan untuk menghasilkan kristal tunggal silikon mesti menggunakan produk kaca kuarza ketulenan tinggi. Aplikasi pasaran sasaran utama bahagian kuarza dalam bidang semikonduktor ialah proses resapan dan goresan dalam pengecoran wafer. Ia boleh dibahagikan kepada dua kategori: peranti zon suhu tinggi dan peranti zon suhu rendah. Peranti utama yang digunakan adalah seperti berikut:

1. Peranti zon suhu tinggi terutamanya tiub relau, bot kaca, dsb. digunakan dalam pengoksidaan resapan dan pautan lain, yang perlu secara langsung atau tidak langsung bersentuhan dengan wafer silikon dalam persekitaran suhu tinggi; ia terutamanya dibeli bahan kaca kuarza bersatu dan dihasilkan melalui pemprosesan haba;

2. Peranti zon suhu rendah terutamanya termasuk cincin kuarza yang digunakan dalam proses etsa, serta bakul bunga dan tangki pembersihan yang digunakan dalam proses pembersihan. Mereka digunakan terutamanya dalam persekitaran suhu rendah. Mereka terutamanya membeli kaca kuarza ditapis gas dan dihasilkan melalui pemprosesan sejuk.

Semicorex menawarkan kualiti tinggibahagian kuarzadalam tahap semikonduktor. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Hubungi # telefon +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com