2024-08-12
Kuarza ketulenan tinggi mempunyai sifat fizikal dan kimia yang luar biasa. Struktur kristal yang wujud, bentuk dan variasi kekisi menyumbang kepada ciri-ciri luar biasa seperti rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan, pekali pengembangan haba yang rendah, penebat tinggi, kesan piezoelektrik, kesan resonan dan sifat optik yang unik. Atribut ini menjadikannya bahan asas yang tidak boleh digantikan untuk pembangunan industri strategik dan tonggak.
Penggunaan kuarza ketulenan tinggi merangkumi pelbagai bidang termasuk semikonduktor, fotovoltaik, gentian optik dan sumber cahaya elektrik. Di antaranya, industri semikonduktor memegang bahagian terbesar, menyumbang 50% daripada penggunaannya.
Di tengah-tengah pembuatan semikonduktor terletak fabrikasi cip, mewakili segmen nilai tambah tertinggi dalam industri. Pembuatan cip terutamanya terdiri daripada empat peringkat: pertumbuhan kristal tunggal, pemprosesan dan fabrikasi wafer, pengeluaran litar bersepadu (IC) dan pembungkusan. Peringkat yang paling kritikal, kompleks dan menuntut, terutamanya dari segi keperluan bahan, ialah pembuatan wafer silikon dan pemprosesan wafer.
Bahan kuarza ketulenan tinggi, dengan kestabilan haba yang luar biasa, rintangan asid, pengembangan haba yang rendah, dan penghantaran spektrum yang sangat baik, dengan sempurna memenuhi keperluan ketat industri semikonduktor berkenaan logam alkali dan kandungan logam berat dalam bahan pembawa. Proses pengeluaran memerlukan sejumlah besar komponen kuarza berkualiti tinggi, termasuk wafer, gelang, plat, bebibir, bot terukir, tiub relau resapan dan tangki pembersihan.
Kuarza ketulenan tinggi digunakan dalam pelbagai peringkat penyediaan semikonduktor
Aplikasi dalam Pembuatan Wafer Silikon
Aplikasi utama kaca kuarza dalampembuatan wafer silikonterletak pada pengeluaranpijar kuarza, penting untuk proses Czochralski (CZ) yang digunakan untuk mengembangkan jongkong silikon kristal tunggal untuk fabrikasi wafer. Selain itu, bekas pembersih kuarza juga digunakan.
Semicorex Pisau Kuarza Bercantum
Aplikasi dalam Pemprosesan Wafer
Semasa pemprosesan wafer, pelbagai rawatan sepertipengoksidaan, epitaksi, litografi, goresan, resapan, pemendapan wap kimia (CVD), implantasi ion, dan penggilap dilakukan pada wafer silikon. Kaca kuarza ketulenan tinggi, kerana ketulenannya, rintangan suhu tinggi, pengembangan haba yang rendah, dan rintangan kakisan, memainkan peranan penting dalam proses ini.
1)Resapan dan Pengoksidaan: Tiub resapan kaca kuarzadigunakan secara meluas dalam proses ini, bersama dengan bebibir kuarza yang disertakan. Komponen utama lain termasuktiub relau kuarza(untuk mengangkutbot kuarzamasuk dan keluar dari relau), bot kuarza (untuk membawa wafer silikon), dan rak bot kuarza. Antaranya,tiub resapan kaca kuarzaadalah yang terpenting, dengan ketulenannya, rintangan ubah bentuk suhu tinggi, dan geometri yang tepat secara langsung memberi kesan kepada kualiti, kos dan kecekapan pengeluaran IC.
Bot kuarzadan rak berfungsi sebagai pembawa yang sangat diperlukan untuk wafer silikon semasa proses resapan, pengoksidaan, CVD dan penyepuhlindapan. Komponen ini terdapat dalam pelbagai spesifikasi dan saiz, biasanya tersedia dalam konfigurasi mendatar dan menegak. Sentuhan terus dengan wafer silikon pada suhu tinggi memerlukan penggunaan kaca kuarza ketulenan tinggi dengan kestabilan haba yang sangat baik dan ketepatan dimensi untuk komponen ini.
Komponen Kuarza Semicorex untuk Relau Resapan
2)Goresan dan Pembersihan:Proses etsa memerlukan bahan dan komponen kaca kuarza tahan kakisan, yang membawa kepada permintaan yang ketara untuk cincin kuarza, ruang tindak balas kaca kuarza, dan sokongan wafer. Selain itu, peringkat pembersihan asid dan pembersihan ultrasonik menggunakan bakul kaca kuarza dan tangki pembersihan, masing-masing, memanfaatkan kestabilan kimia bahan yang luar biasa. Balang loceng kuarza juga digunakan semasa pertumbuhan epitaxial silikon.
3)Fotolitografi:Kaca kuarza ketulenan tinggi berfungsi sebagai bahan substrat utama untuk topeng foto, komponen penting dalam proses fotolitografi. Kos perolehan substrat ini merupakan 90% yang ketara daripada jumlah kos bahan mentah untuk topeng foto, seperti yang ditunjukkan oleh data daripada prospektus Qingyi Photomask. Sebagai alat berketepatan tinggi untuk memindahkan corak litar semasa pembuatan LCD, semikonduktor dan peranti elektronik lain, topeng foto secara langsung mempengaruhi ketepatan dan kualiti produk akhir. Ini memerlukan penggunaan jongkong kaca kuarza sintetik ketulenan ultra tinggi sebagai bahan asas untuk substrat photomask.
Kesimpulannya, gabungan unik sifat yang dipamerkan oleh kuarza ketulenan tinggi telah mengukuhkan kedudukannya sebagai bahan yang sangat diperlukan dalam industri semikonduktor. Memandangkan kemajuan teknologi dan permintaan untuk pengecilan dan prestasi meningkat, pergantungan pada bahan kuarza berkualiti tinggi hanya dijangka berkembang, seterusnya mengukuhkan peranan pentingnya dalam membentuk masa depan elektronik.**
Semicorex, sebagai pengilang dan pembekal yang berpengalaman, menyediakan bahan Kuarza Ketulenan Tinggi untuk industri Semikonduktor dan Fotovoltaik. Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan atau memerlukan butiran tambahan, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.
Hubungi # telefon +86-13567891907
E-mel: sales@semicorex.com