Apa itu Dummy Wafer

Seorang DummyWaferialah wafer khusus yang digunakan terutamanya untuk mengisi peralatan mesin semasa proses pembuatan wafer. Tidak seperti wafer pengeluaran, Wafer Dummy tidak bertujuan untuk dijual sebagai produk siap dan biasanya tidak digunakan dalam pengeluaran sebenar. Tujuan utama mereka adalah untuk memenuhi keperluan operasi peralatan khusus, meningkatkan kestabilan proses, mengoptimumkan penggunaan sumber dan mengurangkan risiko pengeluaran. Oleh itu, reka bentuk dan aplikasi Dummy Wafers merupakan komponen penting dalam pengurusan pengeluaran fabrikasi wafer (fab).

Fungsi Utama DummyWafer

1. Kapasiti Peralatan Pengisian: Peralatan pembuatan tertentu, seperti tiub relau dan pengukir, memerlukan bilangan minimum wafer semasa operasi untuk mengekalkan aliran udara yang stabil, medan suhu dan persekitaran tindak balas kimia. Jika kurang wafer pengeluaran diletakkan di dalam peralatan, kestabilan prestasi boleh terjejas, memberi kesan negatif kepada kualiti proses. Wafer Dummy digunakan untuk menambah bilangan wafer, memastikan peralatan beroperasi pada beban optimum, sama seperti cara ketuhar yang dimuatkan sepenuhnya menyediakan pemanasan yang sekata.

2. Melindungi Wafer Pengeluaran: Dalam proses berisiko tinggi seperti implantasi ion, etsa dan pemendapan wap kimia (CVD), mungkin terdapat ketidakstabilan atau penjanaan zarah semasa peringkat awal. Menggunakan wafer pengeluaran secara langsung akan berisiko kehilangan hasil yang tidak dapat dipulihkan. Wafer Dummy berfungsi sebagai langkah berjaga-jaga, menilai keselamatan proses sebelum memperkenalkan wafer pengeluaran.

3. Mengagihkan Beban Proses Secara Sekata: Semasa pemprosesan, wafer dalam pembawa (seperti tiub relau atau ruang etsa) mesti diagihkan secara sama rata untuk memastikan hasil yang konsisten. Sebagai contoh, dalam pemendapan wap fizikal (PVD), peletakan tidak simetri boleh menjejaskan kadar pemendapan dan keseragaman ketebalan. Dummy Wafers membantu mengimbangi susun atur, menggalakkan kestabilan dan keseragaman sepanjang proses.

4. Mengurangkan Kos Terbiar Peralatan: Peralatan dalam pembuatan wafer menggunakan sumber yang besar semasa permulaan dan penutupan. Kemalasan yang berpanjangan kerana kekurangan wafer pengeluaran boleh membazir sumber dan merendahkan prestasi. Memproses Dummy Wafers memastikan peralatan sentiasa aktif dan bersedia untuk pengeluaran masa hadapan.

5. Melakukan Pengesahan Peralatan dan Proses Penyahpepijatan: Wafer Dummy selalunya bertindak sebagai pembawa pengesahan untuk peralatan. Selepas penyelenggaraan dan pembersihan, wafer ini digunakan untuk memeriksa kefungsian peralatan. Jika timbul sebarang isu, pelarasan boleh dibuat tanpa membazirkan wafer pengeluaran yang berharga. Proses ini serupa dengan menggunakan tayar ujian pada kereta sebelum menggantikannya dengan tayar pengeluaran kos tinggi.

Ringkasnya, DummyWafermemainkan peranan penting dalam proses pembuatan wafer. Penggunaan berkesan mereka menyumbang kepada penyelenggaraan peralatan, penyahpepijatan proses, pengoptimuman sumber dan kecekapan pengeluaran keseluruhan, membantu mengurangkan kos sambil meningkatkan penggunaan peralatan dan kestabilan proses.