Bot Wafer Silicon Carbide

Dalam pembuatan semikonduktor, pengoksidaan melibatkan meletakkan wafer dalam persekitaran suhu tinggi di mana oksigen mengalir merentasi permukaan wafer untuk membentuk lapisan oksida. Ini melindungi wafer daripada kekotoran kimia, menghalang arus bocor daripada memasuki litar, menghalang resapan semasa implantasi ion, dan menghalang gelinciran wafer semasa mengetsa, membentuk filem pelindung pada permukaan wafer. Peralatan yang digunakan dalam langkah ini ialah relau pengoksidaan. Komponen utama dalam ruang tindak balas termasuk bot wafer, tapak, tiub pelapik relau, tiub relau dalam, dan penyekat penebat haba. Oleh kerana suhu operasi yang tinggi, keperluan prestasi untuk komponen dalam ruang tindak balas juga tinggi.

Thebot waferdigunakan sebagai pembawa untuk pengangkutan dan pemprosesan wafer. Ia harus mempunyai kelebihan seperti penyepaduan tinggi, kebolehpercayaan yang tinggi, sifat anti-statik, rintangan suhu tinggi, rintangan haus, rintangan kepada ubah bentuk, kestabilan yang baik, dan hayat perkhidmatan yang panjang. Oleh kerana suhu pengoksidaan wafer adalah kira-kira antara 800 ℃ dan 1300 ℃, dan keperluan untuk kandungan kekotoran logam dalam persekitaran adalah sangat ketat, komponen utama seperti bot wafer bukan sahaja mesti mempunyai sifat terma, mekanikal dan kimia yang sangat baik, tetapi juga mempunyai kandungan kekotoran logam yang sangat rendah. Berdasarkan substrat, mereka boleh dibahagikan kepada bot wafer kuarza, bot wafer seramik silikon karbida, dan lain-lain. Walau bagaimanapun, dengan kemajuan nod proses di bawah 7nm dan pengembangan tingkap proses suhu tinggi, bot kuarza tradisional secara beransur-ansur menjadi tidak mencukupi dari segi kestabilan haba, kawalan zarah, dan pengurusan seumur hidup. Bot silikon karbida (SiC) secara beransur-ansur menggantikan penyelesaian kuarza tradisional.

1. Pembuatan Semikonduktor

Dalam proses pembuatan cip bersuhu tinggi, seperti pengoksidaan, resapan, pemendapan wap kimia (CVD), dan implantasi ion, bot SiC digunakan untuk menyokong wafer silikon, memastikan wafer kekal rata pada suhu tinggi dan menghalang salah jajaran atau ubah bentuk kekisi yang disebabkan oleh tekanan terma, sekali gus menjamin ketepatan dan prestasi cip.

2. Industri Fotovoltaik

Seramik silikon karbida mempunyai kekuatan mekanikal yang sangat baik, kestabilan haba, rintangan suhu tinggi, rintangan pengoksidaan, rintangan kejutan haba, dan rintangan kakisan kimia, dan digunakan secara meluas dalam bidang popular seperti metalurgi, jentera, tenaga baharu dan bahan kimia bahan binaan. Prestasinya juga mencukupi untuk proses terma dalam pembuatan fotovoltaik, seperti resapan, LPCVD (pemendapan wap kimia bertekanan rendah), dan PECVD (pemendapan wap kimia plasma) untuk sel TOPcon. Berbanding dengan bahan kuarza tradisional, bahan seramik silikon karbida yang digunakan untuk membuat penyokong bot, bot kecil dan produk tiub menawarkan kekuatan yang lebih tinggi, kestabilan haba yang lebih baik dan tiada ubah bentuk di bawah suhu tinggi. Jangka hayat mereka juga lebih daripada lima kali ganda daripada kuarza, dengan ketara mengurangkan kos operasi dan kehilangan tenaga akibat masa henti penyelenggaraan. Ini menghasilkan kelebihan kos yang jelas, dan bahan mentah tersedia secara meluas.

3. Industri Semikonduktor Generasi Ketiga

Dalam kebuk tindak balas pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD), bot silikon karbida digunakan untuk menyokong substrat nilam, menahan persekitaran gas yang menghakis seperti ammonia (NH3), menyokong pertumbuhan epitaxial bahan semikonduktor generasi ketiga seperti galium nitrida (GaN), dan meningkatkan kecekapan cip bercahaya. Dalam pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, bot silikon karbida berfungsi sebagai penyokong kristal benih dalam relau pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, menahan persekitaran menghakis suhu tinggi silikon cair, memberikan sokongan yang stabil untuk pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida, dan menggalakkan penyediaan kristal tunggal silikon karbida berkualiti tinggi.

Semicorex membekalkan seramik SiC berkualiti tinggibot wafer. Produk kami direka bentuk untuk memberikan kestabilan terma yang unggul, hayat perkhidmatan yang dilanjutkan dan konsistensi proses yang luar biasa. Untuk penyelesaian tersuai atau maklumat teknikal tambahan, sila hubungi pasukan kejuruteraan kami.

Telefon: +86-13567891907

E-mel: sales@semicorex.com