Apabila nod teknologi terus mengecut, pembentukan simpang ultra cetek memberikan cabaran yang ketara. Proses penyepuhlindapan terma termasuk Penyepuhlindapan terma Rapid (RTA) dan penyepuhlindapan lampu kilat (FLA) adalah teknik penting yang mengekalkan kadar pengaktifan kekotoran yang tinggi sambil......
Baca LagiDalam pembuatan semikonduktor, ketepatan dan kestabilan proses goresan adalah yang terpenting. Satu faktor kritikal dalam mencapai etsa berkualiti tinggi ialah memastikan wafer rata di atas dulang semasa proses. Sebarang sisihan boleh menyebabkan pengeboman ion tidak sekata, menyebabkan sudut yang t......
Baca LagiSilikon karbida (SiC) ialah bahan semikonduktor celah jalur lebar yang telah mendapat perhatian ketara sejak beberapa tahun kebelakangan ini kerana prestasinya yang luar biasa dalam aplikasi voltan tinggi dan suhu tinggi. Kajian ini secara sistematik meneroka pelbagai ciri kristal SiC yang ditanam m......
Baca Lagi