Etching kering adalah teknologi utama dalam proses pembuatan sistem mikro-mekanikal. Prestasi proses etsa kering memberi pengaruh langsung kepada ketepatan struktur dan prestasi operasi peranti semikonduktor. Untuk mengawal proses etsa dengan tepat, perhatian yang mendalam mesti dibayar kepada param......
Baca LagiSilicon Carbide Aerostatic Slideway adalah sistem panduan lanjutan yang menggabungkan sifat bahan silikon karbida dan teknologi aerostatik. Servis sebagai penyelesaian yang optimum untuk sistem gerakan ketepatan tinggi, kebolehpercayaan dan jangka panjang, slideway aerostatik karbida silikon digunak......
Baca LagiKaedah arus perdana untuk menyediakan kristal tunggal karbida silikon adalah kaedah pengangkutan wap fizikal (PVT). Kaedah ini kebanyakannya terdiri daripada rongga tiub kuarza, elemen pemanasan (gegelung induksi atau pemanas grafit), bahan penebat karbon grafit, grafit yang boleh dilepaskan, krista......
Baca LagiSOI, pendek untuk silikon-on-insulator, adalah proses pembuatan semikonduktor berdasarkan bahan substrat khas. Sejak perindustriannya pada tahun 1980 -an, teknologi ini telah menjadi cawangan penting proses pembuatan semikonduktor maju. Dibezakan oleh struktur komposit tiga lapisan yang unik, proses......
Baca LagiChuck elektrostatik menjalankan pelbagai fungsi seperti pelepasan elektrostatik seragam, pengaliran haba dan penjerapan wafer dan penetapan dalam bidang pembuatan semikonduktor. Salah satu fungsi teras ESC adalah dengan stabil yang menyerap wafer di bawah keadaan operasi yang melampau seperti vakum ......
Baca Lagi