Silikon nitrida (Si₃N₄) ialah bahan seramik berstruktur dengan kekonduksian terma intrinsik sekitar 320 W/(m·K), menampilkan kekonduksian terma yang tinggi dan sifat mekanikal yang luar biasa. Terima kasih kepada kestabilan unggulnya pada suhu ambien, Si₃N₄ telah menjadi bahan pembungkus substrat se......
Baca LagiDalam fabrikasi peranti semikonduktor mewah, filem SiO₂ biasanya terbentuk melalui proses pengoksidaan untuk rawatan permukaan substrat, dan aplikasi biasa mereka termasuk lapisan penghalang dopan, lapisan penebat permukaan, lapisan oksida pintu, oksida medan dan oksida korban. Sebagai proses teras ......
Baca LagiDengan kemajuan teknologi, produk pintar seperti telefon bimbit, komputer, kenderaan elektrik dan robot telah disepadukan ke dalam kehidupan manusia. Produk ini mengandungi sejumlah besar cip semikonduktor, dan fabrikasi cip memerlukan peralatan semikonduktor, seperti mesin etsa, mesin litografi, da......
Baca LagiWafer silikon dengan rintangan tinggi (HR-Si), seperti namanya, adalah bahan silikon monohabluran dengan rintangan yang sangat tinggi. Dalam bidang pembuatan semikonduktor termaju, kehilangan frekuensi tinggi telah menjadi cabaran utama dalam reka bentuk cip mewah. Terima kasih kepada kerintangan ul......
Baca LagiCincin fokus, juga dirujuk sebagai cincin pampasan atau cincin kurungan, adalah komponen peralatan etsa yang sangat diperlukan, terutamanya peralatan etsa kering plasma. Proses etsa ketepatan skala nano dalam pembuatan semikonduktor moden tidak akan dapat dicapai tanpanya. Penggunaan cincin fokus me......
Baca LagiDengan mengawal selia profil pemanasan dan penyejukan dengan tepat, proses penyepuhlindapan boleh mengaktifkan atom dopan, membaiki kerosakan kekisi, melegakan tekanan dalaman, dan meningkatkan kebolehpercayaan elektrik wafer. Peningkatan prestasi kritikal ini meletakkan asas yang kukuh untuk pempro......
Baca Lagi