Substrat SiC boleh mempunyai kecacatan mikroskopik, seperti Dislokasi Skru Benang (TSD), Dislokasi Tepi Benang (TED), Dislokasi Satah Asas (BPD) dan lain-lain. Kecacatan ini disebabkan oleh penyelewengan dalam susunan atom pada peringkat atom. Hablur SiC juga mungkin mempunyai kehelan makroskopik, s......
Baca LagiMenurut hasil penyelidikan, salutan TaC boleh bertindak sebagai lapisan perlindungan dan pengasingan untuk memanjangkan hayat komponen grafit, meningkatkan keseragaman suhu jejari, mengekalkan stoikiometri sublimasi SiC, menyekat penghijrahan kekotoran dan mengurangkan penggunaan tenaga. Akhirnya se......
Baca LagiPemendapan wap kimia CVD merujuk kepada pengenalan dua atau lebih bahan mentah gas ke dalam ruang tindak balas di bawah keadaan vakum dan suhu tinggi, di mana bahan mentah gas bertindak balas antara satu sama lain untuk membentuk bahan baru, yang dimendapkan pada permukaan wafer.
Baca Lagi