Balang Loceng Kuarza 15".

Jar Loceng Kuarza 15" Semicorex direka bentuk untuk menghadapi cabaran ini, menyediakan penyelesaian berprestasi tinggi untuk pemprosesan kelompok skala sederhana hingga besar di mana keseragaman terma dan ketulenan bahan adalah penting untuk memaksimumkan hasil. Dalam industri semikonduktor dan filem nipis, integriti ruang proses adalah yang paling penting. Memandangkan saiz wafer meningkat, nod menjadi lebih bersih dan tidak dapat menyusut. persekitaran menjadi tidak boleh dirunding.

1. Sains Bahan: Ketulenan Silika Bercantum

Asas balang loceng kami adalah ketulenan tinggisilika bercantum (Kuarza). Tidak seperti kaca standard, kuarza terdiri hampir keseluruhannya daripada SiO2, memberikan sifat unik yang penting untuk fabrikasi semikonduktor:

Pencemaran Ultra-Rendah: Kuarza kami diproses untuk meminimumkan unsur surih logam (seperti Al, Fe, Na, dan K) ke tahap bahagian-per-bilion (ppb). Ini menghalang penyebaran bendasing ke dalam wafer semasa kitaran suhu tinggi, memastikan integriti elektrik peranti.

Rintangan Kejutan Terma Unggul: Kuarza mempunyai Koefisien Pengembangan Terma (CTE) hampir sifar. Ini membolehkan Jar Loceng Kuarza 15" untuk menahan tanjakan dan pelindapkejutan suhu yang pantas tanpa risiko keretakan atau keletihan struktur—keperluan kritikal untuk reaktor pemprosesan tinggi.

Lengai Kimia Cemerlang: Kuarza sangat tahan terhadap kebanyakan asid (kecuali asid hidrofluorik) dan gas proses menghakis, memastikan ruang tidak terdegradasi atau keluar gas semasa kitaran etsa atau pemendapan yang agresif.

2. Kejuruteraan ketepatan dan kejelasan optik

Jar Loceng Kuarza 15" menyediakan volum maksimum dan dinamik aliran gas optimum untuk tujuan pemprosesan wafer kelompok. Balang mempunyai cerobong menegak (juga dikenali sebagai leher) yang direka secara optimum untuk menyediakan saluran masuk untuk gas atau membantu dalam mengekstrak gas melalui vakum dari balang, yang ditunjukkan dalam imej di atas.

Ketelusan Optik - Tahap penghantaran yang tinggi bagibahan kuarzauntuk memancarkan panjang gelombang dalam spektrum ultraungu, boleh dilihat dan kawasan inframerah membolehkan pemprosesan masa nyata serta penggunaan pemanas lampu luaran untuk pemprosesan terma pantas (RTP).

Permukaan Pengedap Bertetulang - Leher balang mempunyai pengedap putih legap yang dibangunkan khas (juga dirujuk sebagai sambungan tanah) yang menyediakan antara muka hermetik (tertutup udara) dan kedap vakum antara plat dasar reaktor dan balang.

Penyepuhlindapan untuk Melegakan Tekanan - Semua Jar Loceng Kuarza 15" menjalani proses penyepuhlindapan haba yang ketat untuk melegakan tekanan mekanikal dalaman yang telah diletakkan pada balang melalui proses mekanikal meniup atau membentuk balang, oleh itu dengan ketara mengurangkan kemungkinan balang akan gagal secara spontan apabila diletakkan di bawah beban vakum.

3. Aplikasi Kritikal dalam Fab Semikonduktor

Jar Loceng Kuarza 15" kami direka khusus untuk penyepaduan ke dalam proses bernilai tinggi berikut:

Silicon Epitaxy: Menyediakan bekas yang telus dan tidak reaktif untuk mengembangkan lapisan silikon kristal tunggal berkualiti tinggi.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Menahan persekitaran plasma yang menghakis sambil mengekalkan kekuatan dielektrik yang tinggi.

Resapan dan Pengoksidaan: Berfungsi sebagai ruang yang bersih dan berpanas tinggi untuk pembentukan oksida pintu dan pandu masuk dopan.

Pengeluaran Prabentuk Gentian Optik: Sesuai untuk pemendapan ketulenan tinggi lapisan silika dalam pembuatan kaca khusus.

Di Semicorex, kami mengendalikan setiap balang loceng sebagai peralatan makmal ketepatan. Proses kami termasuk: Penyumberan bahan yang ketat dengan gred elektronik yang disahkankuarzajongkong; fabrikasi lanjutan yang menggabungkan kemahiran meniup kaca tradisional dengan pengisaran dan penggilap dikawal CNC; dan pemeriksaan menyeluruh menggunakan cahaya terpolarisasi untuk mengesan tekanan sisa dan interferometri laser untuk pemeriksaan dimensi yang tepat.