Pemanas C/C

Pemanas Semicorex C/C ialah elemen pemanasan komposit karbon/karbon berprestasi tinggi yang direka untuk menyampaikan pengagihan haba yang seragam dan kawalan suhu yang tepat dalam proses pertumbuhan kristal silikon. Semicorex komited untuk membekalkan komponen medan haba yang canggih dan boleh dipercayai kepada pelanggan di seluruh dunia, menyokong industri semikonduktor dan fotovoltaik dengan kualiti yang konsisten dan perkhidmatan global.*

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Dalam pembuatan semikonduktor dan fotovoltaik termaju, kawalan haba yang tepat adalah penting untuk mencapai struktur kristal berkualiti tinggi. Pemanas Semicorex C/C (Pemanas Utama Karbon/Karbon) direka bentuk untuk memberikan keseragaman dan kestabilan haba yang luar biasa, menjadikannya komponen penting dalam sistem pertumbuhan kristal suhu tinggi.

Pemanas C/C yang ditunjukkan di atas menampilkan struktur gelang bersegmen dengan slot potong ketepatan, direka untuk mengoptimumkan pengedaran arus dan sinaran terma. Konfigurasi ini membolehkan penjanaan haba yang sangat seragam merentas zon pemanasan, dengan berkesan meminimumkan kecerunan terma dan menyokong keadaan pertumbuhan kristal yang konsisten. Ia digunakan secara meluas dalam proses seperti silikon monohabluran (kaedah CZ) dan pengeluaran silikon polihabluran, di mana ketepatan suhu secara langsung memberi kesan kepada kualiti dan hasil bahan.

Pemanas grafit tradisional sering bergelut dengan jangka hayat mekanikal dan ubah bentuk haba sepanjang kitaran suhu tinggi yang berulang.komposit C/C, diperkukuh dengan gentian karbon berkekuatan tinggi, menawarkan alternatif yang unggul. Dengan menggunakan matriks karbon yang diperkukuh oleh gentian karbon, pemanas C/C mengekalkan integriti struktur yang luar biasa sambil menyampaikan kecerunan suhu tepat yang diperlukan untuk mengawal antara muka cair-pepejal semasa pertumbuhan jongkong silikon.

Spesifikasi Utama:

Ketumpatan: ≥1.50 g/cm³

Kekonduksian Terma (RT): ≥40 W/(m·K)

Kerintangan Elektrik (RT): 20–30 μΩ·m

Kerintangan Elektrik (Suhu Tinggi): 14–20 μΩ·m

Kelebihan Utama untuk Pertumbuhan Silikon

silicon crystal growth

1. Keseragaman Terma Luar Biasa

Fungsi utama Pemanas Utama C/C adalah untuk menyediakan pengagihan haba yang simetri. Dalam pertumbuhan silikon monohablur, walaupun sedikit turun naik dalam kecerunan suhu boleh membawa kepada isu pemendakan oksigen atau kehelan. Struktur bertetulang gentian pemanas kami memastikan haba dipancarkan sama rata merentasi pijar, menggalakkan kadar pertumbuhan yang stabil.

2. Ketulenan Kimia yang Dipertingkatkan

Pencemaran adalah musuh kecekapan semikonduktor. Pemanas C/C kami menjalani proses penulenan suhu tinggi untuk memastikan kandungan abu dikekalkan pada tahap minimum (biasanya <20ppm). Ini menghalang bendasing logam daripada larut lesap ke dalam leburan silikon, memastikan kerintangan tinggi dan jangka hayat pembawa yang diperlukan untuk wafer jenis-N atau jenis-P.

3. Panjang Umur dan Kecekapan Kos

Berbanding dengan grafit isostatik standard,komposit C/Cmempunyai nisbah kekuatan-ke-berat yang lebih tinggi. Ia sangat tahan terhadap kejutan haba dan tidak menjadi rapuh selepas penggunaan berpanjangan pada suhu melebihi 1500 ℃. Ketahanan ini mengakibatkan pengurangan relau teardown dan jumlah kos pemilikan yang lebih rendah untuk pengendali fab.