Salutan karbon kaca dirasakan

Semicorex Glassy Carbon Coating merasakan bertindak sebagai lapisan penebat dalaman dalam reaktor epitaxial karbida silikon. Ia adalah bahan penebat berprestasi tinggi yang direka untuk persekitaran terma lanjutan. Produk ini mengatasi cabaran pembuatan suhu tinggi semikonduktor yang tipikal dengan menawarkan penyelesaian yang unggul kerana sifat penebat haba yang ringan dan sangat baikGrafit dirasakan, ditambah dengan integriti permukaan dan inertness kimia yang diberikan oleh salutan karbon kaca.

Bahan asas adalah kesucian yang tinggiGrafit dirasakanmemilih untuk kekonduksian terma yang rendah kestabilan suhu tinggi dan ringan. Grafit biasa dirasai biasanya mempunyai penumpahan serat permukaan dan penjanaan zarah pada suhu tinggi yang boleh mencemarkan persekitaran proses dalam sistem epitaxial yang sensitif. Untuk mengurangkan isu ini, permukaan grafit dirasakan disalut seragam dengan lapisan karbon kaca-bentuk karbon yang padat dan tidak berliang yang dikenali untuk ketidakseimbangan kimianya, kebolehtelapan gas yang rendah, dan kestabilan terma yang luar biasa.

Karbon Glassy adalah karbon bukan grafit yang menggabungkan sifat-sifat kaca dan seramik. Berbeza dengan grafit kristal, ia adalah bahan karbon hibrida, hampir 100% SP2, yang dibentuk oleh sintering suhu tinggi prekursor organik polimerisasi, seperti resin fenolik, resin alkohol furfuryl, dan lain-lain, dalam suasana gas yang tidak aktif. Kerana ia hitam di seluruh dan mempunyai permukaan licin yang serupa dengan kaca, ia dipanggil karbon kaca.

Lapisan karbon kaca boleh menghilangkan penjanaan zarah relau, menyediakan liang permukaan yang tertutup, mempunyai sifat -sifat demolding yang sangat baik dan mengurangkan kebolehtelapan, menjadikan bahan ini sangat sesuai untuk acuan dan produk pemutus berterusan dalam industri semikonduktor. Bahan ini mempunyai pelbagai aplikasi dalam industri semikonduktor, terutamanya dalam bahagian grafit seperti komponen peralatan silikon kristal tunggal, komponen pertumbuhan epitaxial, acuan pemutus berterusan, jig pengedap kaca, dll.

Karbon kaca mempunyai rintangan suhu yang tinggi sehingga 3000 ° C dalam gas lengai atau vakum, dan tidak seperti semua bahan suhu tinggi seramik dan logam yang lain, kekuatan karbon berkaca meningkat dengan peningkatan suhu sehingga 2700k, dan ia tidak menjadi rapuh dan mempunyai rintangan kejutan terma yang sangat tinggi, jadi pemanasan yang singkat dan masa penyejukan tidak masalah. Di samping itu, karbon berkaca mempunyai jisim yang rendah, penyerapan haba yang rendah dan pengembangan haba yang rendah, jadi ia sesuai untuk hampir semua aplikasi suhu tinggi.

Lapisan karbon kaca memainkan peranan penting dalam menyegel liang permukaan grafit yang dirasakan, dengan ketara mengurangkan pelepasan zarah dan debu karbon semasa operasi. Ini amat kritikal dalam proses pertumbuhan epitaxial SIC, di mana pencemaran yang minimum dapat menjejaskan kualiti wafer dan prestasi peranti. Dengan merangkumi struktur berliang yang dirasakan dengan shell karbon yang licin, keras, salutan memastikan persekitaran terma yang bersih dan stabil dalam ruang tindak balas.

Kelebihan utama salutan karbon kaca dirasakan termasuk:

Pengurangan zarah penumpahan: salutan padat berkesan mengunci gentian dan zarah longgar, mencegah pencemaran wafer dan komponen reaktor.

Kestabilan terma yang tinggi: Kedua-dua grafit yang dirasakan dan karbon berkaca dapat menahan suhu melebihi 2000 ° C dalam atmosfera lengai atau vakum, menjadikan produk ideal untuk proses SIC suhu tinggi.

Kimia Inertness: Permukaan karbon kaca tahan terhadap kebanyakan asid dan gas yang menghakis, memanjangkan hayat operasi lapisan penebat di bawah keadaan yang keras.

Konsistensi proses yang lebih baik: Generasi zarah yang diminimumkan menyumbang kepada persekitaran pertumbuhan epitaxial yang lebih stabil dan berulang, yang penting untuk menghasilkan wafer SIC berkualiti tinggi.

Aplikasi salutan karbon kaca dirasakan terutamanya kepada relau pertumbuhan epitaxial SIC, di mana ia digunakan sebagai lapisan penebat haba di dalam zon panas. Produk ini biasanya dipasang sebagai bahan lapisan di susunan penebat atas atau bawah, di mana ia menyediakan perlindungan terma dan jaminan kebersihan.