Grafit Chuck

Semicorex Graphite Chuck direkayasa darigrafit khusus, diiktiraf untuk rintangan terma dan kimia yang luar biasa. Satu contoh unik seperti chuck grafit yang secara khusus direka bentuk dari bentuk grafit kerana ia dikenali dengan ketahanan yang sangat tinggi terhadap bahan kimia dan panas. Ini menjadikan Chucks sangat tahan lama dan mereka akan melaksanakan dalam keadaan yang paling sukar yang digunakan dalam pemendapan wap kimia (CVD) atau etsa plasma atau bahkan dalam relau suhu tinggi. Oleh itu, kesucian yang tinggi dengan kekotoran yang sangat rendah akan bermakna bahawa mereka tidak akan menyebabkan pencemaran semasa pengeluaran polysilicon. Mereka mampu menanggung suhu jauh melebihi 2000 ° C tanpa sebarang ubah bentuk yang ketara kerana ia sangat stabil melalui peningkatan suhu. Di samping itu, mereka juga mempunyai ketahanan yang lebih baik terhadap kebanyakan bahan kimia dan oleh itu akan bertahan di bawah keadaan yang sangat sukar, seperti dalam asid hidroklorik (HCl) atau silikon tetrachloride (SICL4). Kekuatan mekanikal yang tinggi bermaksud bahawa Chuck dapat mengekalkan bentuknya walaupun tertakluk kepada beban yang berterusan.

Grafit Chuck adalah kritikal dalam pemprosesan wafer dan pertumbuhan kristal; Mereka memainkan peranan utama dalam semua pembuatan di mana -mana peringkat, seperti pemendapan wap kimia (CVD), di mana mereka memastikan pemendapan silikon seragam. Semasa mengiris dan menggilap, mereka memberikan sokongan yang stabil untuk pemotongan wafer dan penamat permukaan. Dalam pemprosesan haba, mereka bertindak sebagai asas tahan panas untuk proses penyepuhlindapan silikon dan doping, meningkatkan kecekapan dan kualiti garis pengeluaran.

Bagaimana kita memastikan keseragaman prestasi kitagrafit?

Pertama, karbonisasi. Relau kami hanya mempunyai 115 meter padu. Pasukan teknikal kami akan menguji medan suhu produk grafit di kawasan yang berbeza di setiap relau. Dalam keadaan suhu rendah (0-200 °) apabila suhu mula meningkat, kita akan mengawalnya pada kira-kira ± 10 °, dan dalam keadaan suhu tinggi (di atas 600 °), kita akan mengawalnya pada ± 1 °. Kami bukan sahaja akan menguji medan suhu antara grafit yang berbeza, tetapi juga menguji permukaan dan suhu dalaman setiap bahan grafit, dan mengawalnya pada ± 3 °. Kami menguji 8 titik suhu di setiap relau di relau karbonisasi.

Yang kedua ialah grafitisasi. Mengambil 500 kg sebagai contoh, kami juga akan menguji 8 mata suhu. Sampel diperiksa secara rawak di mana -mana kedudukan produk grafit untuk ujian yang merosakkan. Selepas kemusnahan, 24 mata diuji. Ujian dilakukan secara berasingan dari paksi XYZ untuk memastikan keseragamannya. Kebanyakan syarikat dalam industri hanya akan menguji paksi X atau paling banyak paksi XY.

Pengilang umum hanya menguji 6-8 mata, dan yang lebih baik menguji 12 mata, sementara kami menguji 24 mata.

Semicorex Graphite Chuck adalah penyelesaian yang sangat diperlukan untuk pengeluar polysilicon yang mencari perkakas berprestasi tinggi, boleh dipercayai, dan kos efektif. Dengan sifat bahan canggih dan kejuruteraan ketepatan, produk kami meningkatkan kecekapan dan kualiti pengeluaran wafer silikon dalam industri solar. Untuk maklumat lanjut atau spesifikasi tersuai, sila hubungi kami hari ini.